為工業(yè)和材料學(xué)應(yīng)用而設(shè)計(jì)

奧林巴斯正置式材料顯微鏡BX53M采用了模塊化設(shè)計(jì)，為廣泛的材料學(xué)和工業(yè)應(yīng)用提供了多樣化的解決方案。BX3M增強(qiáng)了與奧林巴斯Stream軟件的集成性，從而為常規(guī)顯微鏡檢查和數(shù)碼成像用戶提供了從觀察到報(bào)告創(chuàng)建的無縫工作流程。

高級(jí)的顯微觀察 便捷的顯微操作

用戶友好性

·讓傳統(tǒng)技術(shù)易于操作：簡(jiǎn)單的照明器

·直觀的顯微鏡控制：視場(chǎng)光闌和孔徑光闌的簡(jiǎn)單設(shè)置

·快速找到焦點(diǎn)：對(duì)焦刻度標(biāo)尺

·一致的照明：智能光強(qiáng)管理

·方便而人性化的操作

·可恢復(fù)顯微鏡設(shè)置：編碼硬件

·基本測(cè)量功能

奧林巴斯正置式材料顯微鏡BX53M功能性

·讓未見變?yōu)榭梢姡篗IX觀察

·創(chuàng)建超景深圖像：EFI

·輕松移動(dòng)載物臺(tái)即可進(jìn)行全景拍攝：即時(shí)MIA

·同時(shí)捕捉高光和暗調(diào)區(qū)域的細(xì)節(jié)：HDR

·可調(diào)整滿足觀察和分析的偏好要求

·容納各類樣品

精密的光學(xué)元件

·優(yōu)良的光學(xué)性能：波像差控制

·穩(wěn)定的色溫和高強(qiáng)度白光LED照明

·支持精密測(cè)量：自動(dòng)校準(zhǔn)

·無縫拼接：圖像陰影校正

全面可定制性

·可滿足用戶要求的各種配置

·模塊化設(shè)計(jì)，構(gòu)建自己的系統(tǒng)

直觀的顯微鏡控制

顯微檢查任務(wù)常常需要用很長(zhǎng)的時(shí)間來調(diào)節(jié)顯微鏡設(shè)置、獲取圖像，以及進(jìn)行必要的測(cè)量，從而得到令人滿意的報(bào)告。用戶有時(shí)需要投入時(shí)間和金錢去完成專業(yè)的顯微鏡培訓(xùn)，或只了解了顯微鏡全部功能的很小部分就開展工作。

奧林巴斯工業(yè)顯微鏡BX53M通過其優(yōu)良的設(shè)計(jì)和便捷的控制功能，簡(jiǎn)化了復(fù)雜的顯微檢查任務(wù)。用戶不需要長(zhǎng)時(shí)間的培訓(xùn)即可掌握顯微鏡的大多數(shù)功能。BX53M方便而舒適的操作還改善了圖像的再現(xiàn)性，大程度減少了人為錯(cuò)誤。

讓傳統(tǒng)技術(shù)易于操作：簡(jiǎn)單的照明器

照明器的設(shè)計(jì)大程度減少了顯微鏡操作過程中所必須的復(fù)雜操作。照明器前端的旋鈕使用戶能夠輕松地改變觀察方法。操作者可以在反射光顯微鏡檢查時(shí)快速切換常用的觀察方法，比如從明場(chǎng)觀察到暗場(chǎng)觀察，到偏光觀察，以隨時(shí)改變不同類型的分析。此外，可以旋轉(zhuǎn)檢偏鏡來實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單偏光觀察的調(diào)節(jié)。

操作者能夠在經(jīng)常使用的觀察方法之間快速切換（AlSi的拋光態(tài)樣品）

直觀的顯微鏡控制：視場(chǎng)光闌和孔徑光闌的簡(jiǎn)單設(shè)置

使用正確的孔徑光闌和視場(chǎng)光闌設(shè)置能夠獲得良好的圖像對(duì)比度，還可以充分利用物鏡的數(shù)值孔徑。指示標(biāo)志可引導(dǎo)用戶根據(jù)觀察方法和所用物鏡進(jìn)行正確的設(shè)置。

快速找到焦點(diǎn)：對(duì)焦刻度標(biāo)尺

機(jī)架上的對(duì)焦刻度標(biāo)尺可以讓操作者快速鎖定焦點(diǎn)。操作者不用通過目鏡查看樣品就可以大致地對(duì)準(zhǔn)焦點(diǎn)，從而在檢查具有不同高度的樣品時(shí)節(jié)省了時(shí)間。

一致的照明：智能光強(qiáng)管理

在初始設(shè)定時(shí)，可以調(diào)節(jié)照明強(qiáng)度，使其與編碼照明器和/或編碼物鏡轉(zhuǎn)換器的特定硬件配置匹配。

傳統(tǒng)的光強(qiáng)

傳統(tǒng)顯微鏡中，提高了放大倍率，以及使用需要更多光線的觀察方法后，圖像會(huì)變得更暗。

智能光強(qiáng)管理

改變放大倍率或觀察方法時(shí)，顯微鏡自動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)到正確值。

方便而人性化的操作

人性化設(shè)計(jì)對(duì)所有用戶都至關(guān)重要。無論是單機(jī)顯微鏡用戶，還是集成了奧林巴斯Stream圖像分析軟件的顯微鏡系統(tǒng)用戶，都能得益于可以清晰顯示顯微鏡編碼型硬件位置的人性化操作設(shè)計(jì)的手動(dòng)控制器。簡(jiǎn)單的手動(dòng)開關(guān)讓用戶能夠?qū)Ｗ⒂跇悠泛蜋z查工作本身。

可恢復(fù)顯微鏡設(shè)置：編碼硬件

BX53M采用了新的編碼功能，將顯微鏡的硬件設(shè)置與奧林巴斯Stream圖像分析軟件整合在一起。觀察方法、照明強(qiáng)度和物鏡位置全都記錄在軟件和/或手動(dòng)控制器里。編碼功能可實(shí)現(xiàn)顯微鏡設(shè)置與每幅圖像一起自動(dòng)保存，從而可輕松完成此后的還原設(shè)置，以及為報(bào)表提供文檔記錄。既節(jié)省了操作者的時(shí)間，又大程度地減小了使用不正確設(shè)置的概率。當(dāng)前的觀察設(shè)置總是清晰地顯示在手動(dòng)控制器和軟件上。

針對(duì)各種檢查和分析任務(wù)的功能

BX53M保留了常規(guī)顯微鏡檢查的傳統(tǒng)襯度對(duì)比法，比如明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光和微分干涉。隨著新材料的發(fā)展，現(xiàn)在可以使用的顯微鏡檢查技術(shù)來進(jìn)行更精確和更可靠的檢查，從而解決了以往很多使用傳統(tǒng)襯度對(duì)比法檢查時(shí)遇到的缺陷檢測(cè)方面的困難。新的照明技術(shù)和奧林巴斯Stream圖像分析軟件內(nèi)的圖像獲取選項(xiàng)為用戶提供了評(píng)估樣品、文檔記錄的更多選擇。

此外，BX53M還可用于比傳統(tǒng)型號(hào)更大、更重、更特殊的樣品。

MIX觀察：讓未見變?yōu)榭梢?/strong>

BX53M的MIX觀察技術(shù)組合了明場(chǎng)和暗場(chǎng)照明方法。MIX照明滑塊中的LED光源，以定向暗場(chǎng)光線照射樣品。這種方式類似于傳統(tǒng)暗場(chǎng)照明，但又可為L(zhǎng)ED的不同角度光線照射提供四分象限選擇功能。這種定向暗場(chǎng)與明場(chǎng)、熒光、或偏光的組合稱為MIX照明，有助于突出顯示缺陷和區(qū)分隆起與凹陷表面。

傳統(tǒng)的

明場(chǎng)將光線直接照射在樣品上，暗場(chǎng)則使光線沿物鏡的周圍從側(cè)面照射樣品，突出顯示了劃痕和缺陷。

MIX

MIX觀察是通過一個(gè)環(huán)形LED光源來形成明場(chǎng)、熒光或偏光與定向暗場(chǎng)的組合?？梢哉{(diào)節(jié)LED光源，選擇從哪個(gè)方向進(jìn)行照明。該方法可在傳統(tǒng)方法無法觀察的表面上獲得對(duì)比度并可突出表面特征。

即時(shí)MIA：輕松移動(dòng)載物臺(tái)即可進(jìn)行全景拍攝

現(xiàn)在不需要電動(dòng)載物臺(tái)，僅僅移動(dòng)手動(dòng)載物臺(tái)上XY旋鈕即可方便而快捷地拼接圖像。奧林巴斯Stream軟件采用圖案識(shí)別技術(shù)來生成全景圖像，為用戶提供了比單一畫面更廣闊的視野。

一枚硬幣的即時(shí)MIA圖像。

EFI：創(chuàng)建超景深圖像

奧林巴斯Stream軟件的景深擴(kuò)展成像（EFI）功能能夠獲取高度超過物鏡焦深的樣品圖像，把通過不同焦面的圖像疊加在一起，創(chuàng)建出一幅超景深圖像?？梢允褂檬謩?dòng)或電動(dòng)Z軸機(jī)構(gòu)來執(zhí)行EFI，并可創(chuàng)建一幅高度圖，以輕松地識(shí)別樣品結(jié)構(gòu)。也可以用Stream桌面版在離線時(shí)創(chuàng)建EFI圖像。

HDR：同時(shí)捕捉高光和暗調(diào)區(qū)域的細(xì)節(jié)

高動(dòng)態(tài)范圍（HDR）使用了的圖像處理技術(shù)，能夠針對(duì)一幅圖像內(nèi)的亮度差異進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而減少了眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺效果，從而為用戶制作報(bào)告時(shí)提供專業(yè)的圖像。

借助HDR功能，同時(shí)清晰呈現(xiàn)出高光和暗調(diào)區(qū)域的細(xì)節(jié)
（樣品：燃油噴射器）

借助HDR功能，增強(qiáng)了對(duì)比度
（樣品：鎂切片）

3D測(cè)量

使用外部電動(dòng)對(duì)焦機(jī)構(gòu)時(shí)，可以快速獲取EFI圖像，并以3D視圖顯示。獲取的高度數(shù)據(jù)可用于剖面上的3D測(cè)量，或通過單視圖進(jìn)行3D測(cè)量。

容納各類樣品

可以容納更多的樣品類型和尺寸

新型150×100mm載物臺(tái)在X方向上提供了比以前的型號(hào)更大的行程。再加上其載物臺(tái)板的平板式設(shè)計(jì)，可以輕松地將大樣品，或多個(gè)樣品放置在載物臺(tái)上。載物臺(tái)板上開有小孔，可用于固定樣品架。更大的載物臺(tái)為用戶提供了靈活性，使他們能夠在一臺(tái)顯微鏡上檢查更多的樣品，從而節(jié)省了寶貴的實(shí)驗(yàn)室空間?？烧{(diào)節(jié)扭力的載物臺(tái)方便了高倍下窄視野的微調(diào)定位。

樣品高度和重量的高適應(yīng)性

BX53MRF-S

使用選配的模塊組件可以將高105mm的樣品放置在載物臺(tái)上。由于改進(jìn)了調(diào)焦機(jī)構(gòu)，因此顯微鏡可以容納最重6kg的總重量（樣品+載物臺(tái)）。這就意味著BX3M可以檢查更大、更重的樣品，從而減少了實(shí)驗(yàn)室內(nèi)所需的顯微鏡數(shù)量。通過戰(zhàn)略性地將用于6英寸晶圓的旋轉(zhuǎn)托架放置在偏離中心的位置，在100mm行程范圍內(nèi)移動(dòng)時(shí)，用戶僅旋轉(zhuǎn)晶圓托架即可觀察整個(gè)晶圓表面。優(yōu)化了載物臺(tái)的扭力調(diào)節(jié)，以便于使用，舒適的手柄使用戶更易于找到樣品的感興趣區(qū)域。

樣品尺寸大小的靈活性

BXFM

如果樣品太大，難以放置在常規(guī)顯微鏡載物臺(tái)上，則可以把用于反射光顯微鏡觀察的核心光學(xué)部件組裝到一個(gè)模塊化的系統(tǒng)里。這種模塊化系統(tǒng)，就是BXFM，它可以通過一個(gè)支撐桿安裝在更大的支架上，或使用安裝托架安裝在另一臺(tái)儀器上。這就使用戶能夠充分利用奧林巴斯優(yōu)異的光學(xué)元件的優(yōu)勢(shì)，即使其樣品在尺寸或形狀上都很好。

兼容ESD：保護(hù)電子裝置，防止受到靜電放電的影響

BX3M具有ESD靜電消除能力，防止電子裝置受到由人為或環(huán)境因素而導(dǎo)致的靜電的影響。

悠久歷史的光學(xué)技術(shù)

奧林巴斯公司擁有高品質(zhì)光學(xué)儀器研發(fā)的悠久歷史，創(chuàng)造了多項(xiàng)光學(xué)質(zhì)量的記錄，保證了顯微鏡優(yōu)異的測(cè)量精度。

光學(xué)性能：波像差控制

使用顯微鏡進(jìn)行高級(jí)研究或系統(tǒng)集成時(shí)，所有物鏡的光學(xué)性能必須標(biāo)準(zhǔn)化。奧林巴斯的UIS2物鏡提供了波像差控制，大程度減小了會(huì)降低分辨率的像差，從而獲得數(shù)值孔徑（NA）和工作距離（WD）性能指標(biāo)。

穩(wěn)定的色溫和高強(qiáng)度白光LED照明

BX3M為反射光和透射光照明提供了高強(qiáng)度的白光LED光源。無論強(qiáng)度是多少，LED都保持著一致的色溫。LED提供了高效而長(zhǎng)壽命的照明，是材料學(xué)檢測(cè)應(yīng)用的理想工具。

支持精密測(cè)量：自動(dòng)校準(zhǔn)

類似于數(shù)碼顯微鏡，使用奧林巴斯Stream軟件時(shí)也能夠?qū)嵤┳詣?dòng)校準(zhǔn)。自動(dòng)校準(zhǔn)消除了校準(zhǔn)過程中的人為變化因素，能夠獲得更可靠的測(cè)量結(jié)果。自動(dòng)校準(zhǔn)的算法采用多個(gè)測(cè)量點(diǎn)的平均值來自動(dòng)計(jì)算正確的校準(zhǔn)量。這就大程度減小了不同操作者產(chǎn)生的差異，保持了一致的精確性，提高了定期驗(yàn)證的可靠性。

應(yīng)用

反射光顯微鏡檢查涵蓋的應(yīng)用和行業(yè)非常廣泛，下面僅選擇了使用不同觀察方法效果的部分示例。

暗場(chǎng)觀察

暗場(chǎng)能夠觀察標(biāo)本上的散射或衍射光。任何不平整的部位都會(huì)反射這種光，而平整的部位則顯得很暗，因此缺陷部位就會(huì)清晰地顯示出來。用戶甚至可以識(shí)別出極細(xì)微的劃痕，或小到8nm級(jí)別的缺陷 – 比光學(xué)顯微鏡的分辨能力還要小。因此，暗場(chǎng)是檢測(cè)標(biāo)本上細(xì)微劃痕或缺陷，以及鏡面標(biāo)本（包括晶圓）的理想工具。

表面貼裝基板：DF

微分干涉觀察

微分干涉是一種顯微鏡觀察技術(shù)，這種技術(shù)把明場(chǎng)觀察所不能檢測(cè)到的標(biāo)本高度差，變?yōu)楦〉駹罨蛉S圖像，改善了圖像襯度。該技術(shù)使用了偏光，并有三種專門定制設(shè)計(jì)的棱鏡可以選擇。它是檢查具有極細(xì)微高度差的標(biāo)本的理想工具，包括金相組織、礦石、磁頭、硬盤介質(zhì)和拋光晶圓表面。

球墨鑄鐵檢測(cè)：DIC

偏光觀察

這種顯微鏡觀察技術(shù)使用了由一套濾色片（檢偏鏡和起偏鏡）產(chǎn)生的偏光。標(biāo)本的特性直接影響顯微鏡反射光的強(qiáng)度。這種技術(shù)適用于金相組織（比如球墨鑄鐵上石墨生長(zhǎng)的形態(tài)）、礦石、LCD和半導(dǎo)體材料。

絹云母：POL