感受3D體驗(yàn)，Sensofar三維3D共聚焦白光干涉儀為您展現(xiàn)全新的3D立體形貌。

全新設(shè)計(jì)的3D光學(xué)輪廓儀S neox傳統(tǒng)，將共聚焦、干涉和多焦面疊加技術(shù)融于一身，測(cè)量頭內(nèi)無(wú)運(yùn)動(dòng)部件。

Sensofar三維3D共聚焦白光干涉儀能夠測(cè)量不同的材質(zhì)，結(jié)構(gòu)，表面粗糙度和波度，幾乎涵蓋所有類(lèi)型的表面形貌。它的多功能性能夠滿(mǎn)足廣泛的形貌,測(cè)量應(yīng)用。Sensofar的核心是將3種測(cè)量方式融于體，確保了其的性能。配合SensoSCAN軟件系統(tǒng)，用戶(hù)將獲得難以置信的直觀操作體驗(yàn)。

SENSOFAR公司作為共聚焦干涉顯微鏡，開(kāi)創(chuàng)性地將共聚焦和干涉技術(shù)結(jié)合在起，無(wú)需插拔任何硬件就可以在軟件內(nèi)自動(dòng)實(shí)現(xiàn)共聚焦、白光干涉和相位差干涉模式的切換。使客戶(hù)無(wú)需花費(fèi)高昂的費(fèi)用就能同時(shí)擁有共聚焦顯微鏡和干涉儀。

SENSOFAR在1999年創(chuàng)立之初，就是以三維表面形貌測(cè)量為主要研發(fā)方向，通過(guò)持續(xù)不斷地研發(fā)和申請(qǐng)利技術(shù)，在范圍內(nèi)創(chuàng)造了數(shù)百種表面形貌測(cè)量應(yīng)用產(chǎn)品，積累了豐富的技術(shù)實(shí)力。

一、特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)：

1. 共聚焦模式

共聚焦技術(shù)可以用來(lái)測(cè)量各類(lèi)樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率，可達(dá)0.10um.利用它可以實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測(cè)量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時(shí)，共聚焦在光滑表面測(cè)量斜率達(dá)70°（粗糙表面達(dá)86°）。

共聚焦算法保證Z軸測(cè)量重復(fù)性在納米范疇。

2. 相位差干涉模式

相位差干涉是一種亞納米級(jí)精度的用于測(cè)量光滑表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢(shì)在于任何放大倍數(shù)都可以保證亞納米級(jí)的縱向分辨率。使用2.5倍的鏡頭就能實(shí)現(xiàn)超高縱向分辨率的大視場(chǎng)測(cè)量。

3. 白光干涉干涉模式

白光干涉是一種納米級(jí)測(cè)量精度的用于測(cè)量各種表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢(shì)在于任何放大倍數(shù)都可以保證納米級(jí)的縱向分辨率。

4. 多焦面疊加模式

多焦面疊加技術(shù)是用來(lái)測(cè)量非常粗糙的表面形貌。根據(jù)我們?cè)诠簿劢购透缮婕夹g(shù)融合應(yīng)用方面的豐富經(jīng)驗(yàn)，特別設(shè)計(jì)了此功能來(lái)補(bǔ)足低倍共聚焦測(cè)量的需要。該技術(shù)的亮點(diǎn)是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大(86°)。此功能對(duì)工件和模具測(cè)量特別有用。

5. 真彩色共聚焦圖像

每個(gè)像素點(diǎn)都能還原真實(shí)的色彩。在掃描時(shí)紅、綠、藍(lán)三色LED交替照明，并將三張單色的圖片還原成一幅高分辨率的彩色圖像。相比其他品牌采用像素插值算法，S neox用這種技術(shù)獲得的圖片色彩保真度和還原性更勝。

6. 3D形貌的新體驗(yàn)

超清晰的細(xì)節(jié)，用高分辨率的攝像頭將共聚焦的圖像精彩呈現(xiàn)

7. 超清晰的細(xì)節(jié)

將納米世界呈現(xiàn)給您，用高分辨率的攝像頭將共聚焦的圖像精彩呈現(xiàn)。

8. 多樣的配置方案-平臺(tái)尺寸（從4寸到12寸）

標(biāo)準(zhǔn)尺寸支架：

超大尺寸支架：

二、應(yīng)用實(shí)例