Sensofar非接觸式3D表面光學(xué)輪廓儀S lynx

在精密制造與材料科學(xué)領(lǐng)域，表面形貌的精準(zhǔn)測量是質(zhì)量控制與研發(fā)創(chuàng)新的核心環(huán)節(jié)。西班牙Sensofar公司推出的S lynx 2 3D表面光學(xué)輪廓儀，憑借其突破性的三合一測量技術(shù)、緊湊型設(shè)計及智能化算法，重新定義了非接觸式表面測量的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，成為工業(yè)檢測與科研分析領(lǐng)域的關(guān)鍵工具。

一、技術(shù)革新：三合一測量體系的協(xié)同優(yōu)勢

S lynx 2的核心競爭力在于其集成了干涉測量、共聚焦成像與AI多焦面疊加三種技術(shù)，形成覆蓋全尺度表面的測量矩陣：

干涉測量技術(shù)

針對光滑表面（Ra<10nm）的亞納米級精度需求，S lynx 2采用白光干涉原理，通過分析光程差產(chǎn)生的干涉條紋，實現(xiàn)垂直分辨率達(dá)0.1nm的超高精度測量。該技術(shù)尤其適用于半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)鏡片等超光滑表面的粗糙度分析，可精準(zhǔn)捕捉納米級缺陷與形貌變化。

共聚焦成像技術(shù)

對于中等粗糙度表面（Ra 10nm-1μm），共聚焦技術(shù)通過針孔濾波排除離焦光干擾，結(jié)合高速振鏡掃描，在水平方向?qū)崿F(xiàn)亞微米級分辨率。其優(yōu)勢在于可同時獲取表面高度與反射率信息，適用于金屬加工件、陶瓷涂層等材料的形貌與紋理復(fù)合分析。

AI多焦面疊加技術(shù)

針對粗糙表面（Ra>1μm）或大高差樣品（如3D打印構(gòu)件、地質(zhì)樣本），S lynx 2創(chuàng)新性地引入深度學(xué)習(xí)算法，通過多焦面圖像融合技術(shù)，突破傳統(tǒng)光學(xué)輪廓儀的動態(tài)范圍限制。實驗數(shù)據(jù)顯示，該技術(shù)可在10mm垂直行程內(nèi)保持0.5μm的重復(fù)性精度，同時將測量效率提升至傳統(tǒng)方法的3倍以上。

二、系統(tǒng)設(shè)計：緊湊性與功能性的平衡藝術(shù)

S lynx 2在工業(yè)級性能與實驗室級精度之間實現(xiàn)了平衡：

空間效率：整機尺寸僅420mm×380mm×580mm，重量不足35kg，可靈活部署于潔凈車間或研發(fā)實驗室。其模塊化設(shè)計支持快速更換物鏡（2.5×-100×可選）與光源（白光/LED雙模式），適應(yīng)不同測量場景。

電動平臺：集成125mm×75mm行程的電動XY平臺，配合高精度傾斜調(diào)整臺（角度分辨率0.001°），可自動完成樣品定位與調(diào)平。創(chuàng)新性的拼接算法支持全視場高分辨率成像，單次測量面積較傳統(tǒng)設(shè)備擴(kuò)大5倍。

智能計算架構(gòu)：采用傳感器頭內(nèi)嵌式計算單元，將數(shù)據(jù)預(yù)處理效率提升40%，釋放主機PC性能用于復(fù)雜分析。配套的SensoVIEW軟件支持ISO 25178、ASA S2等20余種國際標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)計算，并內(nèi)置機器學(xué)習(xí)模塊，可自動識別表面缺陷類型與成因。

三、應(yīng)用場景：跨行業(yè)的測量解決方案

S lynx 2的技術(shù)特性使其在多個制造領(lǐng)域展現(xiàn)不可替代性：

半導(dǎo)體行業(yè)

在晶圓減薄、TSV通孔加工等工藝中，其0.1nm垂直分辨率可精準(zhǔn)監(jiān)測亞表面損傷層厚度，結(jié)合共聚焦技術(shù)的反射率成像功能，可同時評估刻蝕均勻性與側(cè)壁粗糙度，為工藝優(yōu)化提供多維數(shù)據(jù)支持。

新能源汽車領(lǐng)域

針對電池極片涂層厚度一致性檢測，S lynx 2的非接觸式測量避免了傳統(tǒng)探針式輪廓儀的劃傷風(fēng)險。其10mm動態(tài)范圍可完整覆蓋極片彎曲形貌，AI拼接功能實現(xiàn)米級長度的在線全檢，檢測效率較激光輪廓儀提升8倍。

生物醫(yī)學(xué)工程

在人工關(guān)節(jié)表面微結(jié)構(gòu)表征中，共聚焦技術(shù)的反射率與高度雙通道成像可區(qū)分羥基磷灰石涂層的孔隙率與結(jié)晶度。配合3D形貌重建功能，可定量評估涂層與基體的結(jié)合強度，為植入物壽命預(yù)測提供關(guān)鍵參數(shù)。

四、市場驗證：用戶價值與技術(shù)口碑

自2024年上市以來，S lynx 2已在全球交付超300臺，客戶覆蓋ASML、特斯拉、西門子醫(yī)療等行業(yè)。國內(nèi)某頭部半導(dǎo)體企業(yè)實測數(shù)據(jù)顯示，該設(shè)備將晶圓表面缺陷檢測的漏檢率從0.3%降至0.02%，同時將檢測周期從12小時縮短至2小時。北京儀光科技有限公司作為Sensofar中國區(qū)總代理，提供從安裝調(diào)試到工藝開發(fā)的全生命周期服務(wù)，其"7天快速響應(yīng)+1年整機質(zhì)保"政策，進(jìn)一步鞏固了用戶信心。

五、未來展望：智能表面測量的新范式

隨著工業(yè)4.0與AI技術(shù)的深度融合，S lynx 2正朝著"測量-分析-決策"一體化平臺演進(jìn)。2025年推出的SensoVIEW 2.0軟件已集成數(shù)字孿生模塊，可實時映射生產(chǎn)線的表面質(zhì)量數(shù)據(jù)，并通過API接口與MES/ERP系統(tǒng)無縫對接?？梢灶A(yù)見，這款凝聚西班牙光學(xué)工程智慧的測量利器，將持續(xù)推動制造業(yè)向目標(biāo)邁進(jìn)。

Sensofar非接觸式3D表面光學(xué)輪廓儀S lynx