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ZYGO共聚焦激光干涉儀光學賦能制造科研創(chuàng)新

產(chǎn)品簡介

ZYGO共聚焦激光干涉儀光學賦能制造科研創(chuàng)新在光學元件檢測、半導體制造、航空航天等高精度領域,表面形貌的測量與波前誤差分析是保障產(chǎn)品性能的核心環(huán)節(jié)。ZYGO作為全球光學計量領域的,其共聚焦激光干涉儀系列憑借創(chuàng)新的光學設計與智能化功能,為工業(yè)與科研用戶提供了兼顧效率與可靠性的解決方案,助力突破技術瓶頸。

產(chǎn)品型號:VeriFire
更新時間:2025-10-21
廠商性質:代理商
訪問量:312
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在光學元件檢測、半導體制造、航空航天等高精度領域,表面形貌的精準測量與波前誤差分析是保障產(chǎn)品性能的核心環(huán)節(jié)。ZYGO作為全球光學計量領域的,其共聚焦激光干涉儀系列憑借創(chuàng)新的光學設計與智能化功能,為工業(yè)與科研用戶提供了兼顧效率與可靠性的解決方案,助力突破技術瓶頸。

技術融合:共聚焦與干涉原理的協(xié)同創(chuàng)新

ZYGO共聚焦激光干涉儀突破傳統(tǒng)干涉儀單一測量模式的局限,通過共聚焦成像與干涉測量技術的深度融合,實現(xiàn)了對復雜表面的多維表征:

  • 共聚焦成像模塊:利用點光源照明與針孔濾波原理,可對微納結構、透明薄膜等樣品進行非接觸式層析成像,支持從納米級粗糙度到毫米級形貌的跨尺度檢測。例如,在半導體晶圓檢測中,該技術可清晰分辨多層鍍膜的界面形貌,為工藝優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支撐。

  • 干涉測量模塊:基于雙頻激光穩(wěn)頻技術,通過分析參考光與測量光的干涉條紋,可精準量化表面平面度、波前畸變等參數(shù)。其相位測量精度達λ/10000(RMS重復性<0.06nm),滿足高精度光學元件的制造標準。

  • 動態(tài)耦合分析:部分型號(如Verifire HDX)集成DynaPhase®動態(tài)采集技術,可實時補償環(huán)境振動干擾,確保在非理想工況下仍能獲取穩(wěn)定數(shù)據(jù),適用于生產(chǎn)線在線檢測場景。

核心優(yōu)勢:效率、精度與易用性的平衡

  1. 智能化操作體驗
    新一代Qualifire™系列引入平面腔自動對焦智能附件識別功能,用戶僅需放置樣品,系統(tǒng)即可自動完成對焦、參數(shù)配置與誤差補償。例如,安裝球面參考鏡時,儀器可自動加載出廠校準數(shù)據(jù)并擬合系統(tǒng)誤差,將設置時間縮短。其飛點環(huán)紋抑制技術通過動態(tài)照明模式消除干涉腔內(nèi)相干噪聲,顯著提升信噪比,尤其適用于高反射率樣品的檢測。

  2. 多場景適應性設計

    • 輕量化與模塊化:Qualifire™系列最輕型號僅21kg,配備密封光學系統(tǒng)與便攜式手柄,支持實驗室與生產(chǎn)現(xiàn)場的靈活部署。其光學支腳采用防塵設計,避免灰塵積累導致的偽影,降低維護成本。

    • 多表面測量能力:Verifire MST型號通過波長調(diào)制與傅里葉變換算法,可同時解析平行平板的前后表面形貌及光學厚度變化,一次采集即可獲取多項關鍵參數(shù),大幅提升檢測效率。

    • 大口徑與高分辨率兼容:Verifire HDX搭載3.4kx3.4k傳感器,結合優(yōu)化光學設計,在全分辨率下實現(xiàn)96Hz幀率,兼顧中頻特征分析與高速采樣需求,適用于大口徑非球面鏡片的檢測。

  3. 數(shù)據(jù)深度分析能力
    配套Mx™分析軟件提供Zernike多項式擬合、功率譜密度(PSD)分析等工具,支持從微觀缺陷到宏觀形變的量化評估。例如,在激光核聚變裝置的光學元件檢測中,該軟件可精準定位亞表面損傷位置,為拋光工藝提供改進方向。

典型應用:從實驗室到產(chǎn)業(yè)化的全鏈條覆蓋

  • 光學制造:某鏡片廠商利用Verifire™系列檢測自由曲面鏡片,通過PSD分析優(yōu)化加工參數(shù),使面形精度提升至λ/40 PV,產(chǎn)品良率顯著提高。

  • 半導體設備:在極紫外光刻(EUV)掩模版檢測中,Qualifire™的納米級粗糙度測量功能幫助用戶識別襯底表面污染,降低光刻缺陷率。

  • 航空航天:某衛(wèi)星制造商采用Verifire MST測量星載望遠鏡的平行平板,通過同步獲取前后表面形貌與厚度變化數(shù)據(jù),縮短了光學系統(tǒng)的裝調(diào)周期。

  • 科研探索:在量子計算領域,研究人員利用該系列儀器表征超導量子比特的微波腔表面質量,為提升量子態(tài)相干時間提供關鍵數(shù)據(jù)。

用戶價值:以技術迭代驅動長期收益

ZYGO共聚焦激光干涉儀通過持續(xù)的技術升級本土化服務支持,為用戶創(chuàng)造長期價值:

  • 兼容性設計:支持與主流品牌TEM、SEM等設備聯(lián)動,構建多模態(tài)表征平臺。

  • 快速響應服務:在中國設有多個技術中心,提供設備校準、操作培訓與定制化解決方案,確保用戶需求及時落地。

  • 投資回報優(yōu)化:某消費電子廠商通過引入Qualifire™替代傳統(tǒng)檢測設備,將單件檢測成本降低,同時提升了產(chǎn)品光學性能的市場競爭力。

結語:以光學精度,定義未來制造標準

ZYGO共聚焦激光干涉儀系列通過技術創(chuàng)新與場景深耕,重新定義了精密測量的邊界。無論是追求精度的科研機構,還是需要高效質檢的工業(yè)客戶,該系列均能提供適配的解決方案。選擇ZYGO,即是選擇一種更智能、更靈活、更貼近實際需求的測量方式,助力您在精密制造與科研創(chuàng)新的道路上穩(wěn)步前行。

探索更多可能,立即聯(lián)系ZYGO授權代理商,獲取定制化解決方案與產(chǎn)品試用機會。

技術融合:共聚焦與干涉原理的協(xié)同創(chuàng)新

ZYGO共聚焦激光干涉儀突破傳統(tǒng)干涉儀單一測量模式的局限,通過共聚焦成像與干涉測量技術的深度融合,實現(xiàn)了對復雜表面的多維表征:

  • 共聚焦成像模塊:利用點光源照明與針孔濾波原理,可對微納結構、透明薄膜等樣品進行非接觸式層析成像,支持從納米級粗糙度到毫米級形貌的跨尺度檢測。例如,在半導體晶圓檢測中,該技術可清晰分辨多層鍍膜的界面形貌,為工藝優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支撐。

  • 干涉測量模塊:基于雙頻激光穩(wěn)頻技術,通過分析參考光與測量光的干涉條紋,可精準量化表面平面度、波前畸變等參數(shù)。其相位測量精度達λ/10000(RMS重復性<0.06nm),滿足高精度光學元件的制造標準。

  • 動態(tài)耦合分析:部分型號(如Verifire HDX)集成DynaPhase®動態(tài)采集技術,可實時補償環(huán)境振動干擾,確保在非理想工況下仍能獲取穩(wěn)定數(shù)據(jù),適用于生產(chǎn)線在線檢測場景。

核心優(yōu)勢:效率、精度與易用性的平衡

  1. 智能化操作體驗
    新一代Qualifire™系列引入平面腔自動對焦智能附件識別功能,用戶僅需放置樣品,系統(tǒng)即可自動完成對焦、參數(shù)配置與誤差補償。例如,安裝球面參考鏡時,儀器可自動加載出廠校準數(shù)據(jù)并擬合系統(tǒng)誤差,將設置時間縮短。其飛點環(huán)紋抑制技術通過動態(tài)照明模式消除干涉腔內(nèi)相干噪聲,顯著提升信噪比,尤其適用于高反射率樣品的檢測。

  2. 多場景適應性設計

    • 輕量化與模塊化:Qualifire™系列最輕型號僅21kg,配備密封光學系統(tǒng)與便攜式手柄,支持實驗室與生產(chǎn)現(xiàn)場的靈活部署。其光學支腳采用防塵設計,避免灰塵積累導致的偽影,降低維護成本。

    • 多表面測量能力:Verifire MST型號通過波長調(diào)制與傅里葉變換算法,可同時解析平行平板的前后表面形貌及光學厚度變化,一次采集即可獲取多項關鍵參數(shù),大幅提升檢測效率。

    • 大口徑與高分辨率兼容:Verifire HDX搭載3.4kx3.4k傳感器,結合優(yōu)化光學設計,在全分辨率下實現(xiàn)96Hz幀率,兼顧中頻特征分析與高速采樣需求,適用于大口徑非球面鏡片的檢測。

  3. 數(shù)據(jù)深度分析能力
    配套Mx™分析軟件提供Zernike多項式擬合、功率譜密度(PSD)分析等工具,支持從微觀缺陷到宏觀形變的量化評估。例如,在激光核聚變裝置的光學元件檢測中,該軟件可精準定位亞表面損傷位置,為拋光工藝提供改進方向。

典型應用:從實驗室到產(chǎn)業(yè)化的全鏈條覆蓋

  • 光學制造:某鏡片廠商利用Verifire™系列檢測自由曲面鏡片,通過PSD分析優(yōu)化加工參數(shù),使面形精度提升至λ/40 PV,產(chǎn)品良率顯著提高。

  • 半導體設備:在極紫外光刻(EUV)掩模版檢測中,Qualifire™的納米級粗糙度測量功能幫助用戶識別襯底表面污染,降低光刻缺陷率。

  • 航空航天:某衛(wèi)星制造商采用Verifire MST測量星載望遠鏡的平行平板,通過同步獲取前后表面形貌與厚度變化數(shù)據(jù),縮短了光學系統(tǒng)的裝調(diào)周期。

  • 科研探索:在量子計算領域,研究人員利用該系列儀器表征超導量子比特的微波腔表面質量,為提升量子態(tài)相干時間提供關鍵數(shù)據(jù)。

用戶價值:以技術迭代驅動長期收益

ZYGO共聚焦激光干涉儀通過持續(xù)的技術升級本土化服務支持,為用戶創(chuàng)造長期價值:

  • 兼容性設計:支持與主流品牌TEM、SEM等設備聯(lián)動,構建多模態(tài)表征平臺。

  • 快速響應服務:在中國設有多個技術中心,提供設備校準、操作培訓與定制化解決方案,確保用戶需求及時落地。

  • 投資回報優(yōu)化:某消費電子廠商通過引入Qualifire™替代傳統(tǒng)檢測設備,將單件檢測成本降低,同時提升了產(chǎn)品光學性能的市場競爭力。

結語:以光學精度,定義未來制造標準

ZYGO共聚焦激光干涉儀系列通過技術創(chuàng)新與場景深耕,重新定義了精密測量的邊界。無論是追求精度的科研機構,還是需要高效質檢的工業(yè)客戶,該系列均能提供適配的解決方案。選擇ZYGO,即是選擇一種更智能、更靈活、更貼近實際需求的測量方式,助力您在精密制造與科研創(chuàng)新的道路上穩(wěn)步前行。

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