許多工業(yè)及科研樣品表面復(fù)雜，可能存在高陡坡、多層薄膜或反射率差異大的區(qū)域。布魯克白光干涉儀通過特定的技術(shù)設(shè)計(jì)來處理這些情況。布魯克白光干涉光學(xué)輪廓儀自動(dòng)化檢測(cè)分析

對(duì)于具有高深寬比或陡峭側(cè)壁的結(jié)構(gòu)，儀器配備的長(zhǎng)工作距離物鏡和光路設(shè)計(jì)，有助于光線抵達(dá)特征底部并返回，從而改善了對(duì)復(fù)雜形貌的還原度。其增強(qiáng)的算法對(duì)斜率較大的區(qū)域也能進(jìn)行有效的分析。

在測(cè)量晶圓上的透明薄膜或涂層時(shí)，可能會(huì)遇到多層干涉信號(hào)的干擾。設(shè)備提供的選配分析模塊，能夠辨識(shí)并區(qū)分這些信號(hào)，從而評(píng)估薄膜厚度或下層界面的形貌。

面對(duì)反射率過高或過低的樣品，用戶可調(diào)節(jié)光源強(qiáng)度，并可選擇安裝偏振附件來優(yōu)化干涉效果，避免信號(hào)失真，使得在不同材質(zhì)上都能獲得較清晰的測(cè)量數(shù)據(jù)，擴(kuò)展了其應(yīng)用范圍。

提升檢測(cè)效率和結(jié)果一致性是現(xiàn)代測(cè)量的一個(gè)方向。布魯克白光干涉儀結(jié)合自動(dòng)化硬件與軟件分析功能，來支持這一需求。

儀器可搭載電動(dòng)控制的樣品臺(tái)、自動(dòng)切換的物鏡轉(zhuǎn)盤和自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)。用戶能在軟件中預(yù)先規(guī)劃多個(gè)測(cè)量點(diǎn)位，設(shè)備隨后按序自動(dòng)執(zhí)行所有檢測(cè)，減少了人工操作，適用于批量檢測(cè)或大樣品的多區(qū)域統(tǒng)計(jì)。

其分析軟件提供了多種數(shù)據(jù)處理工具：

1. 三維形貌顯示: 生成可視化的三維表面圖。

2. 二維輪廓分析: 提取任意位置的截面線，進(jìn)行點(diǎn)、線尺寸的測(cè)量。

3. 粗糙度參數(shù)計(jì)算: 依據(jù)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，輸出一系列表面粗糙度參數(shù)。

4. 功能分析: 進(jìn)行表面積、體積、孔隙率等分析。

5. 報(bào)告生成: 將測(cè)量結(jié)果與數(shù)據(jù)導(dǎo)出生成定制化報(bào)告。

這些功能協(xié)助用戶將測(cè)量數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為可用于工藝判斷的量化信息。布魯克白光干涉光學(xué)輪廓儀自動(dòng)化檢測(cè)分析