在材料科學(xué)、新能源開發(fā)及生物醫(yī)藥等領(lǐng)域，微觀結(jié)構(gòu)的分析需求日益增長(zhǎng)。澤攸科技推出的ZEM20臺(tái)式掃描電子顯微鏡（SEM），憑借其緊湊設(shè)計(jì)、多功能集成與便捷操作，成為實(shí)驗(yàn)室與工業(yè)場(chǎng)景中的“微觀觀測(cè)工具"。

一、核心性能：從納米級(jí)形貌到成分分析

ZEM20的加速電壓范圍為3kV至20kV，支持1kV步進(jìn)調(diào)節(jié)，最高放大倍數(shù)達(dá)360,000倍，分辨率優(yōu)于4nm（20kV下）。其電子槍采用預(yù)對(duì)中鎢燈絲設(shè)計(jì)，搭配一體式聚光鏡，無需手動(dòng)調(diào)節(jié)物鏡光闌，顯著降低操作門檻。設(shè)備標(biāo)配五軸全自動(dòng)樣品臺(tái)（X/Y/Z/R/T軸），行程范圍覆蓋X軸90mm、Y軸50mm、Z軸32mm，旋轉(zhuǎn)角度360°，傾斜角度-10°至90°，可靈活適配復(fù)雜樣品的多角度觀測(cè)需求。

二、創(chuàng)新設(shè)計(jì)：兼顧效率與拓展性

1. 真空系統(tǒng)：真空分隔技術(shù)將電子槍與樣品倉(cāng)獨(dú)立抽真空，換樣時(shí)間縮短至30秒內(nèi)，大幅提升實(shí)驗(yàn)效率。設(shè)備支持高真空（抽真空時(shí)間＜30秒）與低真空（1-100Pa自動(dòng)控制）雙模式，無需噴金即可直接觀察弱導(dǎo)電樣品（如聚合物、生物組織），減少樣品制備流程。

2. 樣品艙：超大樣品艙尺寸達(dá)185mm×176mm×125mm，兼容兩軸（120mm×100mm×75mm）與五軸樣品臺(tái)，可容納大型塊狀樣品或異形結(jié)構(gòu)件。艙內(nèi)配備高清攝像頭與光學(xué)CCD導(dǎo)航系統(tǒng)，支持實(shí)時(shí)監(jiān)控樣品位置與狀態(tài)。

3. 探測(cè)器組合：集成二次電子探測(cè)器（SE）、四分割背散射電子探測(cè)器（BSE）及集成式能譜儀（EDS），支持SE+BSE模式同步采集與圖像疊加，可同時(shí)獲取樣品表面形貌與成分分布信息。

三、用材與參數(shù)：細(xì)節(jié)彰顯品質(zhì)

• 燈絲材料：預(yù)對(duì)中鎢燈絲為標(biāo)準(zhǔn)配置，可選配LaB6燈絲以提升亮度與壽命。

• 信號(hào)采集：帶寬高達(dá)10MHz，支持視頻模式（512×512像素實(shí)時(shí)顯示）、快速模式（＜3秒掃描）與慢掃模式（＜40秒獲取2048×2048像素高分辨率圖像）。

• 圖像處理：軟件內(nèi)置自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散及大圖拼接功能，支持BMP/TIFF/JPEG/PNG格式輸出。

• 環(huán)境適應(yīng)性：主機(jī)尺寸650mm×370mm×642mm，機(jī)械泵454mm×165mm×252mm，無需專用減震臺(tái)，常規(guī)市電（AC 220V, 50Hz, 1kW）即可運(yùn)行。

四、應(yīng)用場(chǎng)景：從實(shí)驗(yàn)室到生產(chǎn)線

ZEM20適用于金屬材料裂紋分析、半導(dǎo)體器件失效檢測(cè)、鋰電池電極微觀結(jié)構(gòu)表征、生物細(xì)胞形貌觀察等領(lǐng)域。例如，在鋰電行業(yè)中，其低真空模式可直接觀察未噴金的電極材料，結(jié)合EDS能譜分析，可快速定位鋰枝晶生長(zhǎng)位置與成分變化；在半導(dǎo)體領(lǐng)域，五軸樣品臺(tái)支持晶圓邊緣缺陷的多角度觀測(cè)，助力工藝優(yōu)化。

五、操作指南：三步開啟微觀探索

1. 樣品準(zhǔn)備：非導(dǎo)電樣品需噴金（厚度5-10nm），導(dǎo)電膠固定樣品后放入樣品艙。

2. 參數(shù)設(shè)置：通過鼠標(biāo)選擇高/低真空模式，調(diào)節(jié)加速電壓（如15kV）與光斑直徑（粗/中/細(xì)），啟用自適應(yīng)亮度對(duì)比度。

3. 圖像采集：低倍下定位目標(biāo)區(qū)域，切換至高倍模式后微調(diào)聚焦與消像散，選擇合適幀數(shù)（如5幀平均）保存圖像。

ZEM20以“小體積、大功能"重新定義臺(tái)式掃描電鏡，為科研與工業(yè)用戶提供高效、靈活的微觀分析解決方案。