在納米材料研究、制造業(yè)及前沿科學(xué)領(lǐng)域，對(duì)樣品進(jìn)行納米級(jí)分辨的觀察與分析是一項(xiàng)核心需求。澤攸科技的ZEM20Ultro臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，將高性能場(chǎng)發(fā)射技術(shù)集成于緊湊的桌面平臺(tái)之中，為用戶提供了一個(gè)獲取高分辨率圖像的新途徑。它致力于在便捷性與成像能力之間尋求平衡，滿足多種場(chǎng)景下的微觀表征需求。

ZEM20Ultro的設(shè)計(jì)體現(xiàn)了集成化與實(shí)用性的結(jié)合。整機(jī)采用金屬框架結(jié)構(gòu)，保證了系統(tǒng)的機(jī)械穩(wěn)定性和電磁屏蔽效果。其核心是采用冷場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)–FEG），這種電子源以其較小的源尺寸和較高的亮度為特點(diǎn)，為高分辨率成像奠定了基礎(chǔ)。鏡筒內(nèi)集成了電磁透鏡和消像散器，負(fù)責(zé)電子束的聚焦和校正。樣品室空間經(jīng)過(guò)優(yōu)化，可容納較大尺寸的樣品，并配備了五軸全自動(dòng)優(yōu)中心樣品臺(tái)，允許用戶通過(guò)軟件精確控制樣品位置和觀察角度。

該儀器的性能表現(xiàn)與其技術(shù)選型密切相關(guān)。冷場(chǎng)發(fā)射電子槍的使用，使系統(tǒng)在較低的加速電壓下也能獲得束流穩(wěn)定、束斑較小的電子束，這對(duì)觀察不耐電子束轟擊的樣品或獲取表面細(xì)節(jié)有幫助。儀器通常標(biāo)配二次電子（SE）和背散射電子（BSE）探測(cè)器，用于同步采集樣品的形貌和成分襯度信息。其真空系統(tǒng)采用分子泵與隔膜泵組合，能維持鏡筒所需的高真空環(huán)境。

基本參數(shù)概覽（示例，請(qǐng)以數(shù)據(jù)為準(zhǔn)）：

• 型號(hào)： ZEM20Ultro

• 電子槍類(lèi)型： 冷場(chǎng)發(fā)射電子槍 (CFEG)

• 分辨率： 可提供較高水平的分辨率（例如：高真空模式下優(yōu)于一定數(shù)值）

• 加速電壓： 寬范圍多檔可調(diào)（如0.5kV - 20kV或更寬）

• 放大倍數(shù)： 寬范圍連續(xù)可調(diào)（從低倍到數(shù)十萬(wàn)倍）

• 樣品臺(tái)： 五軸全自動(dòng)優(yōu)中心馬達(dá)臺(tái)（X, Y, Z, 傾斜, 旋轉(zhuǎn)）

• 真空系統(tǒng)： 全金屬高真空系統(tǒng)

其應(yīng)用方向包括納米顆粒形貌表征、半導(dǎo)體器件及芯片的納米級(jí)結(jié)構(gòu)檢測(cè)、優(yōu)良涂層與薄膜材料表面分析、金屬材料的微區(qū)結(jié)構(gòu)觀察、以及生命科學(xué)中精細(xì)結(jié)構(gòu)的表征等。

使用前，儀器需安置于穩(wěn)固、無(wú)強(qiáng)振動(dòng)干擾的實(shí)驗(yàn)臺(tái)。開(kāi)機(jī)后，系統(tǒng)自動(dòng)完成抽真空和電子槍預(yù)熱等流程。樣品需進(jìn)行常規(guī)制備，如清潔、干燥，非導(dǎo)電樣品通常需進(jìn)行噴金等導(dǎo)電處理。通過(guò)軟件界面，用戶可方便地選擇加速電壓、束流強(qiáng)度，操控樣品臺(tái)移動(dòng)，并進(jìn)行聚焦、消像散等操作以獲取清晰圖像。

在維護(hù)方面，ZEM20Pro的設(shè)計(jì)也考慮了長(zhǎng)期使用的便利性。耗材如電子槍壽命較長(zhǎng)，日常維護(hù)工作相對(duì)簡(jiǎn)單。軟件通常包含系統(tǒng)狀態(tài)監(jiān)控和故障診斷提示功能，廠家能提供遠(yuǎn)程技術(shù)支持，幫助用戶維持設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行。

綜上所述，澤攸ZEM20Pro臺(tái)式高分辨掃描電鏡通過(guò)穩(wěn)定的硬件設(shè)計(jì)、智能的軟件系統(tǒng)和人性化的操作流程，為用戶提供了一個(gè)高效、可靠的高分辨顯微成像平臺(tái)，適合對(duì)成像質(zhì)量和操作效率都有要求的用戶群體。