在精密制造、半導(dǎo)體加工等對測量效率和精度要求較高的領(lǐng)域，全自動臺階儀成為提升工作質(zhì)量的重要設(shè)備。JS2000B 全自動臺階儀憑借自動化操作、穩(wěn)定的性能表現(xiàn)，為批量樣品的臺階高度、薄膜厚度等參數(shù)測量提供了高效解決方案，適合對測量流程有標(biāo)準(zhǔn)化要求的場景。
產(chǎn)品細(xì)節(jié)：自動化設(shè)計(jì)提升操作體驗(yàn)
JS2000B 的機(jī)身采用合金框架與鑄鋁底座組合結(jié)構(gòu)，整體穩(wěn)定性強(qiáng)，表面經(jīng)過防靜電處理，能減少環(huán)境干擾。設(shè)備前端配備 15 英寸觸控顯示屏，操作界面包含測量程序設(shè)置、數(shù)據(jù)查看、設(shè)備狀態(tài)監(jiān)控等模塊，圖標(biāo)清晰，觸控響應(yīng)靈敏，操作人員可快速完成參數(shù)設(shè)置。
測量平臺為大理石材質(zhì)，平面度誤差小，尺寸達(dá) 200mm×150mm，可同時放置多個樣品。平臺下方配備伺服電機(jī)驅(qū)動的 XY 軸移動系統(tǒng)，移動范圍為 150mm×100mm，定位精度達(dá)微米級，能自動將樣品的待測區(qū)域移至測頭下方。平臺邊緣設(shè)有樣品定位槽，配合氣動夾具可快速固定不同尺寸的樣品，減少裝夾時間。
測頭系統(tǒng)采用一體化設(shè)計(jì)，測頭針尖為天然金剛石，半徑≤1μm，安裝在 Z 軸精密導(dǎo)軌上。Z 軸驅(qū)動采用壓電陶瓷電機(jī)，升降精度達(dá)納米級，能精準(zhǔn)控制測頭與樣品表面的接觸力度。設(shè)備內(nèi)部集成了光學(xué)定位裝置，可通過攝像頭捕捉樣品表面標(biāo)記點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)測量位置的自動識別與定位。
設(shè)備后部設(shè)有 USB、以太網(wǎng)等數(shù)據(jù)接口，支持與電腦、打印機(jī)連接，方便數(shù)據(jù)導(dǎo)出和報告生成。內(nèi)置的散熱風(fēng)扇采用智能溫控設(shè)計(jì)，僅在設(shè)備溫度較高時啟動，減少運(yùn)行噪音。
產(chǎn)品性能：自動化流程保障測量穩(wěn)定性
JS2000B 的測量范圍為 0-1000μm，最小分辨力達(dá) 0.1nm，能滿足從微米到納米級的臺階測量需求。在重復(fù)性方面，對同一標(biāo)準(zhǔn)臺階進(jìn)行 10 次測量，偏差值較小，適合作為批量生產(chǎn)中的質(zhì)量控制設(shè)備。
設(shè)備的自動化測量流程包含自動對焦、自動找點(diǎn)、自動測量、數(shù)據(jù)記錄等環(huán)節(jié)，單次測量周期可控制在 30 秒以內(nèi)，大幅提升了測量效率。測頭測力可通過軟件設(shè)置，范圍為 5-100mN，調(diào)節(jié)步長 1mN，能適應(yīng)從柔軟薄膜到硬質(zhì)合金的多種樣品。
測量過程中，設(shè)備會實(shí)時監(jiān)測測頭狀態(tài)和樣品位置，若出現(xiàn)測頭異?；驑悠菲疲瑫詣訒和２l(fā)出提示，避免設(shè)備損壞和數(shù)據(jù)錯誤。設(shè)備支持多組測量程序存儲，操作人員可針對不同樣品預(yù)設(shè)測量參數(shù)，下次使用時直接調(diào)用，減少重復(fù)設(shè)置時間。
在環(huán)境適應(yīng)性方面，JS2000B 能在溫度 20±2℃、濕度 40%-60% 的環(huán)境中穩(wěn)定工作，配合設(shè)備自帶的溫度補(bǔ)償功能，可減少環(huán)境溫度波動對測量結(jié)果的影響。
用材、參數(shù)與用途
JS2000B 的關(guān)鍵部件選用高精度材料，測頭桿為鎢合金材質(zhì)，剛性好且熱膨脹系數(shù)?。籜Y 軸導(dǎo)軌采用精密滾珠絲杠，配合花崗巖導(dǎo)軌基座，保證移動精度；Z 軸壓電陶瓷電機(jī)響應(yīng)速度快，位移分辨率高；觸控顯示屏為工業(yè)級，抗干擾能力強(qiáng)，適合車間環(huán)境使用。
部分參數(shù)如下：
該設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)元件加工、精密模具等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體行業(yè)，可測量芯片上金屬布線的臺階高度、氧化層厚度；光學(xué)領(lǐng)域用于檢測鏡片鍍膜的厚度均勻性；精密模具加工中，能檢測模具型腔表面的微小臺階和粗糙度關(guān)聯(lián)參數(shù)，為加工精度控制提供數(shù)據(jù)支持。
使用說明
使用前需檢查設(shè)備供電和接地是否正常，開機(jī)后設(shè)備會進(jìn)行自檢，約 3 分鐘后進(jìn)入待機(jī)狀態(tài)。將樣品放置在測量平臺的定位槽內(nèi)，啟動氣動夾具固定樣品，通過顯示屏上的攝像頭預(yù)覽畫面，框選需要測量的區(qū)域，或調(diào)用預(yù)設(shè)的測量程序。
在軟件中設(shè)置測量參數(shù)：包括測力大小、采樣點(diǎn)數(shù)、移動速度等，點(diǎn)擊 “開始測量" 后，設(shè)備會自動完成定位、測量、數(shù)據(jù)存儲等操作。測量完成后，可在屏幕上查看測量結(jié)果和曲線，也可導(dǎo)出至電腦生成報告。
操作時需注意，樣品表面應(yīng)清潔無雜質(zhì)，避免劃傷測頭；裝夾樣品時避免用力過大導(dǎo)致樣品變形；測量完成后，需將測頭移動至安全位置再取下樣品；定期清潔測量平臺和測頭，保持設(shè)備整潔。
設(shè)備維護(hù)方面，建議每月檢查導(dǎo)軌潤滑情況，每季度校準(zhǔn)測頭零點(diǎn)，每年由專業(yè)人員進(jìn)行精度校驗(yàn)，確保設(shè)備長期穩(wěn)定工作。
JS2000B 全自動臺階儀以其自動化的操作流程、穩(wěn)定的測量性能和廣泛的適用性，為精密制造領(lǐng)域的臺階測量提供了高效解決方案，適合對測量效率和精度有較高要求的企業(yè)和實(shí)驗(yàn)室使用。
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