在眾多需要對(duì)微觀尺度進(jìn)行精確測量的領(lǐng)域，Sensofar 新型共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀 S neox 以其出色的表現(xiàn)嶄露頭角。無論是精密制造車間，還是半導(dǎo)體封裝實(shí)驗(yàn)室，亦或是光學(xué)元件加工場所，它都能成為把控產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵設(shè)備。
從產(chǎn)品設(shè)計(jì)來看，S neox 采用臺(tái)式一體化設(shè)計(jì)，整體身形較為緊湊，尺寸約為 600mm×500mm×750mm ，重量在 70kg 以內(nèi)。這一設(shè)計(jì)使得它無需占用過多空間，在普通操作臺(tái)上就能平穩(wěn)安置，無論是空間有限的小型研發(fā)實(shí)驗(yàn)室，還是設(shè)備眾多的大型生產(chǎn)車間，都能輕松容納它。其機(jī)身外殼選用高強(qiáng)度鋁合金材質(zhì)，并且表面經(jīng)過陽極氧化處理。這不僅賦予了它良好的抗腐蝕能力，能夠在充滿各種復(fù)雜環(huán)境因素的車間或?qū)嶒?yàn)室中，抵御輕微的酸堿侵蝕，延長設(shè)備使用壽命；還能有效減少外界光線反射對(duì)內(nèi)部光學(xué)系統(tǒng)的干擾，保障測量過程的穩(wěn)定性，讓測量結(jié)果更加可靠。
在核心的測量技術(shù)方面，S neox 融合了共聚焦、干涉和多焦面疊加技術(shù)。共聚焦技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)各類樣品表面形貌的測量，相比普通光學(xué)顯微鏡，它有著更高的橫向分辨率，可達(dá) 0.10um ，利用這一特性可對(duì)臨界尺寸進(jìn)行精準(zhǔn)測量。當(dāng)使用 150 倍、0.95 數(shù)值孔徑的鏡頭時(shí)，在光滑表面測量斜率可達(dá) 70°（粗糙表面達(dá) 86°） ，的共聚焦算法更是保證了 Z 軸測量重復(fù)性在納米范疇。干涉技術(shù)分為相位差干涉和白光干涉。相位差干涉是一種亞納米級(jí)精度的用于測量光滑表面高度形貌的技術(shù)，其優(yōu)勢在于在任何放大倍數(shù)下都能保證亞納米級(jí)的縱向分辨率，使用 2.5 倍的鏡頭就能實(shí)現(xiàn)超高縱向分辨率的大視場測量；白光干涉則是納米級(jí)測量精度，可用于各種表面高度形貌的測量，同樣在任何放大倍數(shù)下都能保證納米級(jí)的縱向分辨率。多焦面疊加技術(shù)主要針對(duì)非常粗糙的表面形貌測量，它是根據(jù) Sensofar 在共聚焦和干涉技術(shù)融合應(yīng)用方面的豐富經(jīng)驗(yàn)特別設(shè)計(jì)的，補(bǔ)足了低倍共聚焦測量的需要。該技術(shù)具有快速（mm/s）、掃描范圍大以及支援斜率大（最大 86° ）的特點(diǎn)，對(duì)于工件和模具測量尤為實(shí)用。
再看其用材與關(guān)鍵參數(shù)。光學(xué)鏡頭采用低色散光學(xué)玻璃，并經(jīng)過多層增透膜處理，大大減少了光線反射損失，提升光透過率，從而確保成像清晰，讓我們能清晰觀察到樣品表面的微觀細(xì)節(jié)。鏡頭鏡筒采用不銹鋼材質(zhì)，具備良好的剛性與穩(wěn)定性，即便在長期使用過程中經(jīng)歷溫度變化，也不易出現(xiàn)形變，有力保障了光學(xué)系統(tǒng)的同軸度，維持測量精度。樣品臺(tái)的導(dǎo)軌采用精密滾珠結(jié)構(gòu)，表面覆蓋耐磨涂層，這使得導(dǎo)軌的摩擦系數(shù)小，移動(dòng)時(shí)順滑無卡頓，并且長期使用后依然能保持良好的運(yùn)動(dòng)精度，保證每次測量時(shí)樣品臺(tái)移動(dòng)的準(zhǔn)確性。測量軟件中內(nèi)置了多種國際標(biāo)準(zhǔn)的測量算法，如 ISO 4287 表面粗糙度測量算法、ISO 12781 - 2 臺(tái)階高度測量算法等，這使得測量結(jié)果不僅準(zhǔn)確，還具備通用性，方便在不同行業(yè)、不同標(biāo)準(zhǔn)下進(jìn)行數(shù)據(jù)對(duì)比與分析。
S neox 可提供豐富的配置方案，從手持到超大臺(tái)面多種選擇，滿足不同用戶對(duì)于樣品尺寸的測量需求，最大樣品尺寸可達(dá) 700×600mm2 。同時(shí)，它還配備了 SensoSCAN 操作軟件，這是一款簡潔友好的軟件，能用戶輕松進(jìn)入 3D 測量世界。軟件界面清晰，用戶可以直觀地了解當(dāng)前所用的測量方式，還能便捷地顯示和分析數(shù)據(jù)。其導(dǎo)航預(yù)覽功能十分實(shí)用，在準(zhǔn)備測量前，它能自動(dòng)幫助用戶大范圍觀察樣品，快速找到測量點(diǎn)，并且當(dāng)轉(zhuǎn)換倍數(shù)時(shí)，預(yù)覽圖上會(huì)實(shí)時(shí)顯示當(dāng)前的觀察位置，方便用戶操作。如果增配 SensoPRO LT 或 SensoMAP 軟件，還能實(shí)現(xiàn)更強(qiáng)大的全自動(dòng)測量和分析功能。例如，SensoPRO LT 能讓生產(chǎn)線上的質(zhì)量管控變得簡單又快速，操作人員只需更換樣品并按下開始測量按鈕即可，并且插件式的數(shù)據(jù)分析模塊可靈活增減，目前已有特別針對(duì) PSS（LED 行業(yè)）、Bump、深孔、粗糙度、臺(tái)階高度、traces 和劃痕等的分析模組，還能根據(jù)客戶要求定制。SensoMAP 則是基于 Mountains 的專業(yè)形貌分析和報(bào)告軟件，采用模塊化設(shè)計(jì)，有 standard 和 premium 兩個(gè)級(jí)別以及多個(gè)功能模塊（2D、3D 和 4D 分析、高階輪廓分析、粒度分析、統(tǒng)計(jì)和拼接等）可供選擇。
綜上所述，Sensofar S neox 憑借其出色的產(chǎn)品設(shè)計(jì)、優(yōu)良的測量技術(shù)、優(yōu)質(zhì)的用材、豐富的配置以及強(qiáng)大的軟件功能，成為了一款在眾多領(lǐng)域都價(jià)值的測量設(shè)備，為微觀尺度的輪廓分析提供了有力支持，是您在科研、生產(chǎn)過程中的可靠伙伴。
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