在科學(xué)研究與工業(yè)檢測(cè)等領(lǐng)域，對(duì)微觀世界的精準(zhǔn)觀測(cè)和分析至關(guān)重要?；魇?VK-X3000 激光共聚焦顯微鏡，以其出色的性能和豐富的功能，成為眾多科研人員和工程師的得力助手。基恩士VK-X3000激光共聚焦顯微鏡
基恩士 VK-X3000 采用了優(yōu)良的三重掃描方式，融合激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化三種不同的掃描原理。這種獨(dú)特的設(shè)計(jì)，使其能夠根據(jù)樣品工件的材料、形狀和測(cè)量范圍，靈活選擇最為適配的掃描方式，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。無論是高倍率和低倍率的觀測(cè)需求，還是平面、凹凸表面的細(xì)微粗糙度檢測(cè)，亦或是鏡面體、透明體等特殊材料的測(cè)量，VK-X3000 都能應(yīng)對(duì)自如。其測(cè)量能力覆蓋范圍極廣，從 1nm 的納米級(jí)到 50mm 的較大尺寸，真正做到納米 / 微米 / 毫米一臺(tái)即可完成測(cè)量。
在探測(cè)器模塊方面，它配備了 16BIT 光電倍增器以及面陣探測(cè)器彩色 CMOS。其中，超高靈敏度光電倍增器能夠?qū)崿F(xiàn) 16bit 感應(yīng)，這對(duì)于捕捉激光反射并將其轉(zhuǎn)化為高度信息起著關(guān)鍵作用，成功地以高分辨率進(jìn)行感應(yīng)，可準(zhǔn)確讀取反射率不同的復(fù)合材料，測(cè)量數(shù)據(jù)以 16bit（65536 灰度級(jí)）進(jìn)行處理，以往難以看清的細(xì)微的顏色和明暗差異都能如實(shí)呈現(xiàn)。
載物臺(tái)的設(shè)計(jì)也十分精巧，XY 軸支持電動(dòng)運(yùn)行方式，Z 軸支持電動(dòng)及手動(dòng)運(yùn)行方式，操作便捷。載物臺(tái) X/Y/Z 軸最大行程分別為：100mm@X 軸；100mm@Y 軸；50mm@Z 軸，能夠滿足多種尺寸樣品的測(cè)量需求。
光源類型包含 661nm 半導(dǎo)體紅色激光（II 類激光）以及白色 LED 光源。在激光共聚焦模式下，不同物鏡展現(xiàn)出優(yōu)秀的精度表現(xiàn)：10X 物鏡高度重復(fù)性精度 σ 為 100nm，寬度重復(fù)性精度 3σ 為 400nm；20X 物鏡高度重復(fù)性精度 σ 為 40nm，寬度重復(fù)性精度 3σ 為 100nm；50X 物鏡高度重復(fù)性精度 σ 為 20nm，寬度重復(fù)性精度 3σ 為 50nm。聚焦變化模式下，5X 物鏡高度重復(fù)性精度 σ 為 500nm，寬度重復(fù)性精度 3σ 為 400nm；10X 物鏡高度重復(fù)性精度 σ 為 100nm，寬度重復(fù)性精度 3σ 為 400nm；20X 物鏡高度重復(fù)性精度 σ 為 50nm，寬度重復(fù)性精度 3σ 為 120nm；50X 物鏡高度重復(fù)性精度 σ 為 30nm，寬度重復(fù)性精度 3σ 為 65nm。
所配物鏡的數(shù)值孔徑 NA 及工作距離 WD 也各有特點(diǎn)：5X 物鏡，NA≥0.13，WD22.5mm；10X 物鏡，NA≥0.30，WD16.5mm；20X 物鏡，NA≥0.46，WD3.1mm；50X 物鏡，NA≥0.8，WD0.54mm；150X APO 物鏡，NA≥0.95，WD0.2mm；20X 干涉物鏡，WD4.7mm。
在分析功能上，它擁有多達(dá) 292 種分析工具，測(cè)量軟件不僅能測(cè)量高度或尺寸，還能依據(jù)用戶的想法，通過多樣的分析工具實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步深入分析。比如在粗糙度分析中，能夠?qū)⑾Ｍ私獾谋砻?“差異" 清晰呈現(xiàn)，定量化微小形狀，輕松比較多個(gè)樣品。
在 3D 顯示方面，支持動(dòng)態(tài)三維顯示，可進(jìn)行 XYZ 三軸旋轉(zhuǎn)、前后、左右、上下移動(dòng)，Z 軸還能實(shí)現(xiàn)放縮比例顯示，為用戶提供更直觀的微觀結(jié)構(gòu)展示。報(bào)告輸出格式也豐富多樣，支持模板報(bào)告模式（JPEG/TIF/BMP）、CSV 格式文件輸出以及 Excel 多文件報(bào)告格式輸出，方便用戶根據(jù)需求選擇。還具備多文件分析功能，可在并列顯示多個(gè)掃描結(jié)果文件后，針對(duì)多個(gè)圖像進(jìn)行一致性分析測(cè)量。
基恩士 VK-X3000 激光共聚焦顯微鏡憑借其性能、豐富的功能和便捷的操作，在材料研究、半導(dǎo)體檢測(cè)、精密制造等眾多領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用前景，助力各行業(yè)深入探索微觀世界的奧秘。基恩士VK-X3000激光共聚焦顯微鏡
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