要深入了解一款掃描電鏡，性能參數(shù)是重要的參考依據(jù)。澤攸ZEM20Pro臺(tái)式掃描電鏡在緊湊的機(jī)身內(nèi)，整合了多項(xiàng)實(shí)用性能，滿足日常微觀觀測(cè)的多種需求。

成像分辨率是電鏡的核心指標(biāo)。ZEM20Pro在高加速電壓下可實(shí)現(xiàn)30納米的分辨率，這意味著它能夠清晰呈現(xiàn)大多數(shù)微米及亞微米級(jí)別的精細(xì)結(jié)構(gòu)，如材料表面的孔隙、裂紋、涂層均勻性，或生物樣品的表面特征。其放大倍數(shù)范圍從10倍到10萬(wàn)倍連續(xù)可調(diào)，為用戶從宏觀定位到微觀聚焦提供了平滑過(guò)渡的觀察體驗(yàn)。

電子光學(xué)系統(tǒng)是成像質(zhì)量的基礎(chǔ)。ZEM20Pro采用三級(jí)電磁透鏡進(jìn)行電子束匯聚，光路結(jié)構(gòu)有助于獲得較小的束斑尺寸，從而提升圖像銳度。其真空系統(tǒng)采用分子泵與隔膜泵組合，能較快達(dá)到工作所需真空度，減少等待時(shí)間，提高工作效率。

在探測(cè)系統(tǒng)方面，設(shè)備標(biāo)配的二次電子（SE）探測(cè)器用于獲取表面形貌襯度圖像，是觀察樣品凹凸起伏的主力；背散射電子（BSE）探測(cè)器則對(duì)原子序數(shù)差異敏感，可用于區(qū)分樣品表面上不同化學(xué)成分的區(qū)域，是進(jìn)行初步成分分析的實(shí)用工具。

型號(hào)： ZEM20Pro

關(guān)鍵性能參數(shù)：

• 分辨率： 30 nm (30kV)

  
  

• 放大倍數(shù)： 10 - 100,000 x

  
  

• 加速電壓： 0.5, 1, 5, 10, 15, 20, 30 kV (多檔可選)

  
  

• 電子槍： 高亮度預(yù)對(duì)中鎢燈絲

  
  

• 探測(cè)器： 二次電子探測(cè)器、背散射電子探測(cè)器

  
  

這些性能配置使得ZEM20Pro能夠應(yīng)用于多項(xiàng)任務(wù)：在電子行業(yè)中觀察PCB焊點(diǎn)缺陷、芯片結(jié)構(gòu)；在材料領(lǐng)域分析合金相分布、斷口形貌；在地質(zhì)研究中觀察礦物晶體形態(tài)；在生物領(lǐng)域觀察花粉、細(xì)胞、毛發(fā)等樣品的表面結(jié)構(gòu)。使用時(shí)，根據(jù)樣品的導(dǎo)電性和耐電子束轟擊能力，選擇合適的加速電壓和探針電流是獲得理想圖像的關(guān)鍵。