了解ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

了解ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀
ZeGage Pro是ZYGO公司推出的一款3D光學(xué)輪廓儀，主要用于對(duì)表面形貌進(jìn)行非接觸式的測(cè)量和分析。它基于相干掃描干涉技術(shù)，能夠提供表面的三維形貌數(shù)據(jù)。這款儀器適用于實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)環(huán)境，為研發(fā)和質(zhì)量控制提供了一種表面測(cè)量的方式。

產(chǎn)品型號(hào)：ZeGage Pro

更新時(shí)間：2025-10-23

廠(chǎng)商性質(zhì)：代理商

訪(fǎng)問(wèn)量：120

產(chǎn)品咨詢(xún) 17701039158

產(chǎn)品分類(lèi)

PRODUCT CLASSIFICATION

激光干涉儀

ZYGO光學(xué)輪廓儀 Zygo激光干涉儀

查看全部產(chǎn)品

相關(guān)文章

共聚焦白光干涉儀 | 用于摩擦涂層的表面表征：磨損性能、厚度和粗糙度

Sensofar共聚焦白光干涉儀共聚焦技術(shù)

澤攸臺(tái)階儀從納米臺(tái)階到微納制造的“精密標(biāo)尺”

摩擦過(guò)程中W-C:H涂層的轉(zhuǎn)移層演變

詳細(xì)介紹在線(xiàn)留言

了解ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀

ZeGage Pro是ZYGO公司推出的一款3D光學(xué)輪廓儀，主要用于對(duì)表面形貌進(jìn)行非接觸式的測(cè)量和分析。它基于相干掃描干涉技術(shù)，能夠提供表面的三維形貌數(shù)據(jù)。這款儀器適用于實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)環(huán)境，為研發(fā)和質(zhì)量控制提供了一種表面測(cè)量的方式。

在產(chǎn)品設(shè)計(jì)上，ZeGage Pro采用了一體化的結(jié)構(gòu)，將光學(xué)系統(tǒng)、電子控制系統(tǒng)和內(nèi)置計(jì)算機(jī)集成在一個(gè)緊湊的機(jī)身內(nèi)。這種設(shè)計(jì)減少了外部環(huán)境振動(dòng)和氣流對(duì)測(cè)量結(jié)果的干擾，同時(shí)使得儀器便于移動(dòng)和安裝。儀器的外殼主要采用金屬材料，保證了結(jié)構(gòu)的穩(wěn)固性，內(nèi)部光學(xué)元件則安裝在經(jīng)過(guò)設(shè)計(jì)的隔振平臺(tái)上，以維持光學(xué)路徑的穩(wěn)定性。

了解ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀

ZeGage Pro的用途廣泛，可用于測(cè)量各種材料和表面的粗糙度、臺(tái)階高度、形狀輪廓、體積等參數(shù)。它適用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、材料科學(xué)、精密制造等多個(gè)領(lǐng)域。例如，在光學(xué)元件生產(chǎn)中，可用于檢測(cè)透鏡的表面質(zhì)量；在半導(dǎo)體行業(yè)，可用于測(cè)量晶圓的翹曲度和薄膜厚度。

儀器的操作通過(guò)隨機(jī)附帶的MetroPro軟件完成。該軟件提供了從儀器控制、數(shù)據(jù)采集到結(jié)果分析的全套功能。用戶(hù)可以通過(guò)軟件選擇測(cè)量模式、設(shè)置掃描參數(shù)、實(shí)時(shí)預(yù)覽樣品，并對(duì)采集到的三維數(shù)據(jù)進(jìn)行多種分析，生成符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)量報(bào)告。

參數(shù)表示例：

項(xiàng)目	規(guī)格
型號(hào)	ZeGage Pro (根據(jù)配置有多種型號(hào))
測(cè)量技術(shù)	相干掃描干涉術(shù)
垂直測(cè)量范圍	可達(dá)數(shù)毫米（取決于物鏡）
垂直分辨率	可達(dá)亞納米級(jí)
視野	取決于物鏡倍數(shù)（如0.5x至50x）
平臺(tái)尺寸	提供多種規(guī)格的樣品臺(tái)選項(xiàng)
數(shù)據(jù)接口	千兆以太網(wǎng)
軟件	MetroPro

使用ZeGage Pro時(shí)，需要將儀器放置在穩(wěn)固的工作臺(tái)上，并連接電源和網(wǎng)絡(luò)。開(kāi)機(jī)后，通過(guò)計(jì)算機(jī)上的軟件進(jìn)行操作。放置樣品時(shí)，需確保樣品表面清潔，并平穩(wěn)放置在樣品臺(tái)上。根據(jù)樣品的反射率和表面特性，在軟件中選擇合適的測(cè)量模式和參數(shù)，即可開(kāi)始自動(dòng)測(cè)量。測(cè)量完成后，數(shù)據(jù)會(huì)自動(dòng)傳輸至軟件進(jìn)行分析。