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產(chǎn)品中心臺(tái)式電鏡&臺(tái)階儀&原位分析澤攸臺(tái)式掃描電鏡澤攸ZEM18掃描電鏡操作全流程與軟件功能
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澤攸ZEM18掃描電鏡操作全流程與軟件功能ZEM18 臺(tái)式掃描電子顯微鏡的參數(shù)設(shè)計(jì)圍繞 “多場(chǎng)景兼容" 展開(kāi)，各項(xiàng)指標(biāo)均對(duì)應(yīng)具體的檢測(cè)需求。
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澤攸ZEM18掃描電鏡操作全流程與軟件功能
打開(kāi)設(shè)備總電源開(kāi)關(guān)（位于機(jī)身背面），此時(shí)控制面板指示燈亮起，進(jìn)入待機(jī)狀態(tài)；
啟動(dòng)真空系統(tǒng)：在觸控屏上點(diǎn)擊 “真空控制" 圖標(biāo)，選擇 “自動(dòng)抽真空" 模式，設(shè)備將先啟動(dòng)機(jī)械泵（約 3 分鐘后機(jī)械泵達(dá)到工作轉(zhuǎn)速），隨后啟動(dòng)分子泵；
等待真空度達(dá)標(biāo)：通過(guò)觸控屏實(shí)時(shí)查看真空壓力值，當(dāng)樣品室真空度降至 1×10??Pa 以下時(shí)（約 15 分鐘），設(shè)備提示 “真空就緒"，此時(shí)可進(jìn)行后續(xù)操作；
預(yù)熱電子槍：點(diǎn)擊 “電子槍控制" 圖標(biāo)，選擇 “預(yù)熱" 模式，鎢燈絲將逐步升溫至工作溫度（約 5 分鐘），預(yù)熱完成后電子槍指示燈變?yōu)榫G色，表明電子束可正常發(fā)射。
樣品預(yù)處理：導(dǎo)電樣品（如金屬、半導(dǎo)體）可直接用無(wú)塵布蘸取無(wú)水乙醇擦拭表面，去除油污或碎屑；非導(dǎo)電樣品（如聚合物、生物組織）需通過(guò)離子濺射儀噴涂 5-10nm 厚的金屬膜（常用材料為金或鉑），避免檢測(cè)時(shí)出現(xiàn)電荷積累；
樣品固定：將處理后的樣品放置在樣品臺(tái)專用夾具上，根據(jù)樣品尺寸選擇合適夾具（如圓形夾具適配 Φ10mm 以內(nèi)樣品，方形夾具適配 20mm×20mm 以內(nèi)樣品），用螺絲輕輕固定（力度適中，避免壓損樣品）；
裝載樣品：打開(kāi)樣品室門(mén)（需先在觸控屏上點(diǎn)擊 “釋放真空"，待真空度回升至大氣壓后），將樣品臺(tái)緩慢放入樣品室，關(guān)閉樣品室門(mén)，重新啟動(dòng) “自動(dòng)抽真空"，待真空度再次達(dá)標(biāo)后（約 5 分鐘），進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置環(huán)節(jié)。
樣品預(yù)處理：導(dǎo)電樣品（如金屬、半導(dǎo)體）可直接用無(wú)塵布蘸取無(wú)水乙醇擦拭表面，去除油污或碎屑；非導(dǎo)電樣品（如聚合物、生物組織）需通過(guò)離子濺射儀噴涂 5-10nm 厚的金屬膜（常用材料為金或鉑），避免檢測(cè)時(shí)出現(xiàn)電荷積累；
樣品固定：將處理后的樣品放置在樣品臺(tái)專用夾具上，根據(jù)樣品尺寸選擇合適夾具（如圓形夾具適配 Φ10mm 以內(nèi)樣品，方形夾具適配 20mm×20mm 以內(nèi)樣品），用螺絲輕輕固定（力度適中，避免壓損樣品）；
裝載樣品：打開(kāi)樣品室門(mén)（需先在觸控屏上點(diǎn)擊 “釋放真空"，待真空度回升至大氣壓后），將樣品臺(tái)緩慢放入樣品室，關(guān)閉樣品室門(mén)，重新啟動(dòng) “自動(dòng)抽真空"，待真空度再次達(dá)標(biāo)后（約 5 分鐘），進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置環(huán)節(jié)。
加速電壓選擇：根據(jù)樣品類型調(diào)整，非導(dǎo)電樣品或易損傷樣品（如生物細(xì)胞）設(shè)為 0.5kV-5kV，導(dǎo)電材料設(shè)為 5kV-18kV（例如觀察金屬晶界時(shí)可選 15kV）；
探測(cè)器選擇：若需觀察表面形貌，選擇 “二次電子探測(cè)器（SE）"；若需分析元素分布差異，選擇 “背散射電子探測(cè)器（BSE）"，并可切換 “高角（HA）" 或 “低角（LA）" 模式（HA 模式適合區(qū)分重元素區(qū)域，LA 模式適合輕元素區(qū)域）；
放大倍率與掃描速度：先從低倍率（20X-100X）開(kāi)始，通過(guò)樣品臺(tái)控制桿（或觸控屏 “樣品臺(tái)移動(dòng)" 功能）定位目標(biāo)區(qū)域，再逐步提升至所需倍率（如觀察納米結(jié)構(gòu)可選 100,000X）；掃描速度根據(jù)成像需求調(diào)整，快速預(yù)覽設(shè)為 500-1000 線 / 秒，精細(xì)成像設(shè)為 50-200 線 / 秒（速度越低，圖像分辨率越高，但成像時(shí)間越長(zhǎng)）；
聚焦與對(duì)比度調(diào)整：點(diǎn)擊 “自動(dòng)聚焦" 按鈕，設(shè)備將自動(dòng)完成初步聚焦，隨后可通過(guò)手動(dòng)旋鈕微調(diào)聚焦清晰度；通過(guò) “亮度 / 對(duì)比度" 滑塊調(diào)整圖像明暗與細(xì)節(jié)層次，確保目標(biāo)區(qū)域特征清晰可見(jiàn)（例如觀察樣品邊緣時(shí)，可適當(dāng)提高對(duì)比度）。
實(shí)時(shí)成像預(yù)覽：軟件界面左側(cè)顯示實(shí)時(shí)成像窗口，支持全屏或分屏（SE/BSE 對(duì)比）顯示，可通過(guò) “截圖" 按鈕捕捉當(dāng)前圖像（格式包括 BMP、TIFF、JPEG）；
自動(dòng)功能：除自動(dòng)聚焦外，還支持 “自動(dòng)亮度 / 對(duì)比度"“自動(dòng)倍率校準(zhǔn)" 功能，新手用戶可通過(guò)這些功能快速獲得清晰圖像；
掃描模式切換：提供 “點(diǎn)掃描"“線掃描"“面掃描" 三種模式，點(diǎn)掃描適合局部區(qū)域精細(xì)聚焦，線掃描適合分析線性結(jié)構(gòu)（如導(dǎo)線寬度），面掃描為常規(guī)成像模式。
基礎(chǔ)處理：支持圖像裁剪、旋轉(zhuǎn)、縮放，以及亮度 / 對(duì)比度微調(diào)、降噪處理（通過(guò) “平滑濾鏡" 減少圖像雜點(diǎn)）；
測(cè)量功能：內(nèi)置長(zhǎng)度、面積、粒徑測(cè)量工具，點(diǎn)擊 “測(cè)量" 圖標(biāo)后，在圖像上標(biāo)記目標(biāo)區(qū)域（如兩點(diǎn)間距離、圓形區(qū)域直徑），軟件將自動(dòng)計(jì)算數(shù)值并顯示誤差范圍（測(cè)量精度與放大倍率相關(guān)，1000X 倍率下長(zhǎng)度測(cè)量誤差約 ±0.1μm）；
偽彩處理：可對(duì) BSE 圖像進(jìn)行偽彩染色（如用紅色顯示高原子序數(shù)區(qū)域，藍(lán)色顯示低原子序數(shù)區(qū)域），便于直觀區(qū)分不同元素區(qū)域。
數(shù)據(jù)分析：支持將多組圖像數(shù)據(jù)導(dǎo)入 “對(duì)比分析" 功能，自動(dòng)生成灰度值分布曲線、尺寸統(tǒng)計(jì)圖表（如粒徑分布直方圖），可導(dǎo)出為 Excel 格式；
報(bào)告生成：軟件內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)化報(bào)告模板，包含設(shè)備參數(shù)、樣品信息、圖像數(shù)據(jù)、測(cè)量結(jié)果等模塊，用戶可填寫(xiě)樣品名稱、檢測(cè)日期、操作人員等信息，插入圖像與分析圖表后，直接導(dǎo)出為 PDF 格式（支持自定義報(bào)告標(biāo)題與 logo）。
結(jié)束成像后，先將加速電壓降至 0kV，關(guān)閉電子槍（點(diǎn)擊 “電子槍控制"→“關(guān)閉"）；
釋放真空：在觸控屏上點(diǎn)擊 “釋放真空"，待樣品室真空度回升至大氣壓后，打開(kāi)樣品室門(mén)，取出樣品臺(tái)，清潔樣品室內(nèi)部（用無(wú)塵布蘸取無(wú)水乙醇擦拭）；
關(guān)閉真空系統(tǒng)：點(diǎn)擊 “真空控制"→“關(guān)閉分子泵"，待分子泵轉(zhuǎn)速降至 0 后（約 10 分鐘），關(guān)閉機(jī)械泵；
關(guān)閉設(shè)備總電源，拔掉電源線（若長(zhǎng)期不使用）。
禁止在真空未達(dá)標(biāo)時(shí)啟動(dòng)電子槍，避免電子束散射導(dǎo)致成像模糊，或損壞電子元件；
樣品裝載時(shí)需輕拿輕放，避免樣品臺(tái)碰撞樣品室內(nèi)部傳感器（如真空壓力傳感器）；
軟件操作時(shí)，禁止同時(shí)運(yùn)行其他大型程序，避免占用系統(tǒng)資源導(dǎo)致軟件卡頓或數(shù)據(jù)丟失；
若檢測(cè)過(guò)程中出現(xiàn)異常（如真空度無(wú)法達(dá)標(biāo)、圖像突然中斷），需立即關(guān)閉電子槍與真空系統(tǒng)，聯(lián)系專業(yè)人員排查故障，不可自行拆解設(shè)備。
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