ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀附件與選型建議
一、核心附件類型與適配場(chǎng)景
（一）樣品臺(tái)類附件
適配柔性薄膜、輕薄樣品（如 PET 膜、金屬箔），通過 0.03-0.05MPa 可調(diào)吸附壓力，使樣品平整貼合臺(tái)面，避免測(cè)量時(shí)褶皺。安裝時(shí)直接替換原有樣品臺(tái)，連接設(shè)備自帶氣路接口即可使用，適合半導(dǎo)體薄膜、光學(xué)薄膜等需高精度平整測(cè)量的場(chǎng)景。
自動(dòng)樣品臺(tái)（ZGP-ST02）
X/Y 軸行程 100mm×80mm，定位精度 0.0005mm，支持預(yù)設(shè) 10 個(gè)測(cè)量點(diǎn)位，自動(dòng)完成多區(qū)域批量檢測(cè)。需在 MetroPro 軟件中 “設(shè)備設(shè)置" 里勾選 “自動(dòng)樣品臺(tái)" 并校準(zhǔn)，適配半導(dǎo)體晶圓、批量機(jī)械零件等需高效檢測(cè)的場(chǎng)景，可將單批次檢測(cè)時(shí)間縮短 40%。
（二）光學(xué)類附件
安裝在物鏡與干涉儀之間，通過調(diào)節(jié)偏振角度（0°-90°）減少透明樣品（如玻璃、樹脂）的反光干擾，提升成像對(duì)比度。在光學(xué)鏡片、透明陶瓷檢測(cè)中啟用，配合軟件 “增強(qiáng)對(duì)比度" 功能，可使表面紋理清晰度提升 30%。
100X 倍率，水平分辨率 0.32μm、垂直分辨率 0.03nm，適配微小結(jié)構(gòu)測(cè)量（如芯片納米級(jí)凸起、光學(xué)元件微透鏡）。更換時(shí)需輕擰原物鏡后裝新物鏡，再通過軟件 “物鏡校準(zhǔn)" 功能用標(biāo)準(zhǔn)樣板驗(yàn)證精度，適合精密半導(dǎo)體、微光學(xué)器件檢測(cè)場(chǎng)景。
（三）輔助類附件
2mm 厚坡莫合金材質(zhì)，放置在樣品臺(tái)與設(shè)備主體間，削弱磁性樣品（如永磁體、電磁鐵芯）的磁場(chǎng)干擾。無需復(fù)雜安裝，直接鋪墊即可，適配機(jī)械領(lǐng)域磁性零件（如電機(jī)鐵芯）的表面粗糙度、臺(tái)階高度測(cè)量，可將磁場(chǎng)導(dǎo)致的測(cè)量偏差控制在 0.002μm 內(nèi)。
標(biāo)準(zhǔn)樣板套裝（ZGP-CA01）
包含臺(tái)階樣板（高度 0.1μm、1μm、10μm）、粗糙度樣板（Ra=0.01μm、0.1μm、1μm），用于設(shè)備日常校準(zhǔn)與精度驗(yàn)證。每次更換物鏡或維護(hù)后，用對(duì)應(yīng)樣板校準(zhǔn)，確保測(cè)量誤差符合要求，是實(shí)驗(yàn)室計(jì)量、質(zhì)量管控的備附件。
二、軟件擴(kuò)展功能
需在 MetroPro 軟件中輸入授權(quán)碼激活，新增 “3D 模型對(duì)比"“缺陷統(tǒng)計(jì)分析" 功能：前者可將測(cè)量的 3D 形貌與 CAD 設(shè)計(jì)模型疊加，自動(dòng)標(biāo)注偏差區(qū)域；后者支持統(tǒng)計(jì)缺陷數(shù)量、尺寸分布，并生成直方圖報(bào)告。適配精密模具、航空零件等需深度數(shù)據(jù)分析的場(chǎng)景。
安裝遠(yuǎn)程控制插件后，在局域網(wǎng)內(nèi)通過電腦、平板端訪問設(shè)備，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程啟動(dòng)測(cè)量、查看數(shù)據(jù)。需在軟件 “網(wǎng)絡(luò)設(shè)置" 中配置 IP 地址，支持 3 個(gè)用戶同時(shí)訪問，適配多實(shí)驗(yàn)室協(xié)作、無人值守檢測(cè)場(chǎng)景，方便異地?cái)?shù)據(jù)共享。
三、設(shè)備選型建議
（一）按行業(yè)場(chǎng)景選型
優(yōu)先選 “基礎(chǔ)機(jī) + 自動(dòng)樣品臺(tái) + 100X 物鏡 + 偏振光模塊"，滿足晶圓批量檢測(cè)、芯片納米級(jí)結(jié)構(gòu)測(cè)量需求，兼顧效率與精度。
推薦 “基礎(chǔ)機(jī) + 真空吸附樣品臺(tái) + 偏振光模塊 + 標(biāo)準(zhǔn)樣板套裝"，適配透明光學(xué)元件（鏡片、薄膜）的平整度、厚度測(cè)量，確保光學(xué)性能檢測(cè)準(zhǔn)確。
可選 “基礎(chǔ)機(jī) + 防磁屏蔽板（按需）+50X 物鏡"，滿足機(jī)械零件表面粗糙度、臺(tái)階高度測(cè)量，若需批量檢測(cè)可加配自動(dòng)樣品臺(tái)。
（二）選型注意事項(xiàng)
精度匹配：根據(jù)測(cè)量需求選擇物鏡（低精度選 5X-20X，高精度選 50X-100X），避免過度追求高倍導(dǎo)致效率浪費(fèi)；
功能適配：柔性樣品必選真空吸附樣品臺(tái)，透明樣品優(yōu)先加偏振光模塊，批量檢測(cè)再考慮自動(dòng)樣品臺(tái)；
后續(xù)擴(kuò)展：預(yù)留附件接口（如氣路、數(shù)據(jù)接口），方便后期加裝新附件，減少設(shè)備更換成本。
通過合理搭配附件與擴(kuò)展功能，ZeGage Pro 可進(jìn)一步適配多領(lǐng)域復(fù)雜測(cè)量需求，而科學(xué)的選型則能確保設(shè)備性能與實(shí)際需求精準(zhǔn)匹配，大化發(fā)揮其檢測(cè)價(jià)值。
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