Sensofar S neox共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀的穩(wěn)定性源于精密的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。機(jī)身采用航空級(jí)鋁合金一體成型框架，重量輕且剛性強(qiáng)，能有效抵御外部振動(dòng)干擾。內(nèi)部光路搭載低膨脹玻璃陶瓷基座，這種材料熱穩(wěn)定性優(yōu)異，在溫度波動(dòng)小于0.1℃時(shí)，測(cè)量誤差可保持穩(wěn)定不變。核心的 FLCOS 微顯示掃描引擎采用無(wú)運(yùn)動(dòng)部件設(shè)計(jì)，避免了機(jī)械磨損帶來(lái)的精度下降問(wèn)題，使用壽命超過(guò) 20000 小時(shí)。光路系統(tǒng)密封在防塵罩內(nèi)，搭配 IP54 防護(hù)等級(jí)，能隔絕粉塵與水汽，適應(yīng)車間、實(shí)驗(yàn)室等多種環(huán)境。設(shè)備還配備主動(dòng)隔振模塊，可進(jìn)一步抵消環(huán)境振動(dòng)影響。
性能穩(wěn)定性體現(xiàn)在全測(cè)量流程中。共聚焦與白光干涉雙技術(shù)融合，可根據(jù)樣品表面特性自動(dòng)切換優(yōu)模式：光滑表面啟用白光干涉模式，憑借多步相位移算法實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的縱向分辨率；粗糙表面則切換至共聚焦模式，通過(guò)高數(shù)值孔徑物鏡捕捉細(xì)微紋理。
Z 軸采用閉環(huán)控制技術(shù)，行程不低于 10mm，支持全量程無(wú)縫拼接，多次測(cè)量同一位置的重復(fù)性誤差能控制在較低范圍。實(shí)時(shí)環(huán)境補(bǔ)償算法（REC）是另一大亮點(diǎn)，在振動(dòng)幅度超過(guò) 100nm 的條件下，仍能穩(wěn)定輸出數(shù)據(jù)，某汽車零部件廠曾用其在無(wú)氣浮隔振臺(tái)的車間完成精密模具測(cè)量。
基礎(chǔ)版 S neox 雖定位經(jīng)濟(jì)型，但仍保持核心穩(wěn)定性配置，適用于塑料、金屬等常規(guī)材料的粗糙度檢測(cè)，125×75mm 的 XY 行程能滿足多數(shù)中小型樣品需求。進(jìn)階版 S neox 5 升級(jí)高分辨率光學(xué)系統(tǒng)，搭配五軸旋轉(zhuǎn)臺(tái)，旋轉(zhuǎn)軸定位重復(fù)性達(dá) 10 角秒，傾斜軸分辨率 0.5 角秒，適合半導(dǎo)體等精密檢測(cè)場(chǎng)景。
定制版可根據(jù)需求拓展功能，如加裝高溫原位測(cè)量艙（最高 800℃），在追蹤高溫合金氧化層生長(zhǎng)時(shí)仍保持?jǐn)?shù)據(jù)穩(wěn)定；或配置無(wú)菌操作艙，滿足醫(yī)療植入體檢測(cè)的潔凈需求。S neox Grand Format 則針對(duì)大尺寸樣品，600×600mm 的移動(dòng)范圍配合穩(wěn)定的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，可完成半導(dǎo)體面板的高效檢測(cè)。
操作中，電動(dòng)傾斜臺(tái)能在 3 秒內(nèi)自動(dòng)調(diào)平樣品，減少人工操作帶來(lái)的誤差；電動(dòng)鼻輪可自動(dòng)切換物鏡并校準(zhǔn)焦平面，避免手動(dòng)更換的偏差。SensoSCAN 軟件的自動(dòng)基準(zhǔn)識(shí)別功能，通過(guò)圖案匹配實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化測(cè)量，無(wú)需人工干預(yù)，進(jìn)一步保障結(jié)果一致性。
維護(hù)方面，設(shè)備支持遠(yuǎn)程故障診斷，通過(guò) VPN 連接即可獲得即時(shí)技術(shù)支持。廠家提供 3 年保修期與年度維護(hù)套餐，包含光源更換、軟件升級(jí)與校準(zhǔn)服務(wù)，確保設(shè)備長(zhǎng)期保持穩(wěn)定性能。每 200 小時(shí)一次的校準(zhǔn)流程簡(jiǎn)單，使用標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)片即可完成全系統(tǒng)校準(zhǔn)。Sensofar共聚焦三維輪廓儀筑牢穩(wěn)定測(cè)量根基
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