ContourX-500布魯克環(huán)境與樣品準(zhǔn)備要求

1. 振動(dòng)控制：白光干涉測量對(duì)微振動(dòng)敏感，尤其是垂直方向的振動(dòng)會(huì)直接影響干涉條紋的穩(wěn)定性，導(dǎo)致測量噪聲增大甚至失敗。建議將設(shè)備安裝在穩(wěn)固的防振平臺(tái)（如氣浮隔振臺(tái)）上，并盡量遠(yuǎn)離振源（如大型設(shè)備、走廊、門窗）。

   
   

2. 溫度穩(wěn)定性：溫度波動(dòng)會(huì)導(dǎo)致設(shè)備機(jī)械部件發(fā)生熱脹冷縮，影響掃描精度和重復(fù)性。同時(shí)，樣品本身也可能因溫度變化而變形。理想的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境應(yīng)保持恒溫（如20±1°C或根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)要求），并避免設(shè)備受陽光直射或空調(diào)出風(fēng)口直吹。開機(jī)后應(yīng)預(yù)熱足夠時(shí)間，使設(shè)備內(nèi)部溫度達(dá)到平衡。

   
   

3. 氣流與潔凈度：強(qiáng)烈的空氣流動(dòng)（如風(fēng)扇、人員頻繁走動(dòng)）可能導(dǎo)致局部空氣密度變化，影響光路穩(wěn)定性。同時(shí)，空氣中的塵埃若落在光學(xué)元件或樣品上，會(huì)干擾測量。建議在相對(duì)潔凈、氣流平緩的環(huán)境中使用，定期清潔設(shè)備外殼和樣品臺(tái)。

   
   

4. 光照條件：強(qiáng)烈的環(huán)境光（尤其是閃爍的日光燈）可能會(huì)被探測器接收，干擾干涉信號(hào)。通常在暗室或關(guān)閉室內(nèi)強(qiáng)光條件下測量效果更佳，或使用設(shè)備配套的遮光罩。

   
   

5. 電力供應(yīng)：穩(wěn)定的電源有助于電子系統(tǒng)（特別是光源和相機(jī)）穩(wěn)定工作。建議使用穩(wěn)壓電源或UPS，避免電壓波動(dòng)和意外斷電。

   
   

1. 清潔度：樣品表面必須清潔，無灰塵、指紋、油污、水漬或其他污染物。污染物不僅會(huì)遮擋真實(shí)表面，其自身高度也會(huì)被測量進(jìn)去，導(dǎo)致錯(cuò)誤結(jié)果。通常需使用無塵布、丙酮、乙醇或?qū)Ｓ们鍧崉┻M(jìn)行清潔，對(duì)于精密部件可能需要超聲清洗。

   
   

2. 固定與放置：樣品必須穩(wěn)固地固定在樣品臺(tái)上，確保測量過程中無任何移動(dòng)。對(duì)于小樣品，需使用合適的夾具或黏土；對(duì)于重或大樣品，需確保樣品臺(tái)承重足夠且平衡。樣品表面應(yīng)盡可能水平放置，以減少因大傾斜帶來的測量區(qū)域損失和數(shù)據(jù)處理復(fù)雜度。

   
   

3. 反射率適應(yīng)性：白光干涉需要樣品表面有足夠的反射光信號(hào)。對(duì)于高反射表面（如鏡面金屬），可能需要降低光源強(qiáng)度或使用偏振片來避免信號(hào)飽和。對(duì)于低反射表面（如黑色橡膠、深色陶瓷），可能需要噴涂一薄層提高反射率的材料（如金粉或白色顯像劑），但需注意這會(huì)改變原始表面形貌，僅適用于某些定性或?qū)Ρ葴y量。

   
   

4. 透明與多層樣品：對(duì)于透明材料（如玻璃、薄膜）或多層結(jié)構(gòu)，來自上下界面的反射光會(huì)產(chǎn)生干擾信號(hào)。可能需要在其背面涂黑或使用折射率匹配液來抑制背面反射，或采用設(shè)備專門的多層膜分析模式。

   
   

5. 表面特性考量：對(duì)于非常粗糙（散射嚴(yán)重）或有大傾角/深溝槽的表面，可能會(huì)因光線無法返回探測器而導(dǎo)致數(shù)據(jù)缺失?？赡苄枰獓L試使用不同數(shù)值孔徑（NA）的物鏡，或采用多角度測量策略。

   
   

6. 尺寸與形狀：確保樣品尺寸和重量在設(shè)備標(biāo)稱的載物臺(tái)行程和承重范圍內(nèi)。對(duì)于超出視場的大樣品，需使用軟件的拼接功能。

   
   

建立標(biāo)準(zhǔn)化的樣品準(zhǔn)備和環(huán)境監(jiān)控程序，并將其作為測量SOP（標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程）的一部分，是實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)現(xiàn)場獲得一致、可靠測量結(jié)果的最佳實(shí)踐?；〞r(shí)間做好這些準(zhǔn)備工作，往往能事半功倍，避免因環(huán)境或樣品問題導(dǎo)致的測量失敗或數(shù)據(jù)失真，從而ContourX-500布魯克的投資回報(bào)。

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