白光干涉技術(shù)，作為一種非接觸式的光學(xué)測量方法，為微觀世界的表面形貌分析提供了有效工具。布魯克公司生產(chǎn)的白光干涉光學(xué)輪廓儀，基于此原理，通過分析參考鏡與樣品表面反射光產(chǎn)生的干涉條紋，來重建表面的三維形貌信息。認(rèn)識布魯克白光干涉光學(xué)輪廓儀

該儀器核心在于其光學(xué)系統(tǒng)。其光源通常采用長壽命的LED白光光源，提供穩(wěn)定且色差小的照明。分光組件與高數(shù)值孔徑的物鏡精密配合，確保了干涉信號的高對比度。儀器主體結(jié)構(gòu)多采用航空級鋁合金材料，配合主動隔震系統(tǒng)，保證了在多種環(huán)境下的測量穩(wěn)定性，有效隔離地面振動帶來的噪聲干擾。

在性能表現(xiàn)上，該設(shè)備能應(yīng)對從超光滑到相當(dāng)粗糙的各種表面。其垂直分辨率可達(dá)亞納米級別，能夠分辨出極其細(xì)微的高度差。橫向分辨率則與所選物鏡的放大倍率相關(guān)，使用高倍物鏡時可達(dá)到微米量級。測量速度方面，得益于優(yōu)化的算法和硬件，單次測量可在數(shù)秒內(nèi)完成，適合進(jìn)行多點(diǎn)統(tǒng)計性測量。

型號示例: ContourX系列

• 用途: 適用于研發(fā)與質(zhì)量檢測領(lǐng)域，如半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)、光學(xué)薄膜、材料科學(xué)等表面的三維形貌、粗糙度、臺階高度等參數(shù)測量。

• 使用簡述: 操作通過電腦軟件控制。將樣品置于樣品臺上，選擇合適倍率的物鏡，在軟件中調(diào)整光強(qiáng)和掃描范圍，啟動自動測量程序即可獲取數(shù)據(jù)，并可進(jìn)行后續(xù)分析。

簡要參數(shù)參考:

• 垂直分辨率: < 0.1 nm

• 最大垂直掃描范圍: 可達(dá)數(shù)毫米

• 物鏡選項: 2.5X, 10X, 20X, 50X, 100X 等

• 平臺移動范圍: 依型號而定，通常為 100mm x 100mm 或更大

• 認(rèn)識布魯克白光干涉光學(xué)輪廓儀