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產(chǎn)品中心激光干涉儀ZYGO光學(xué)輪廓儀ZeGage ProZYGO 3D光學(xué)輪廓儀操作軟件功能解析
產(chǎn)品簡介
ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀操作軟件功能解析過 MetroPro 軟件的功能適配，ZeGage Pro 實現(xiàn)了 “測量 - 分析 - 報告" 全流程閉環(huán)，簡化數(shù)據(jù)處理步驟，適配不同場景的檢測需求。
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ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀操作軟件功能解析
硬件參數(shù)匹配：在 “測量設(shè)置" 中選擇當前物鏡（5X/10X/20X/50X），軟件自動加載對應(yīng)分辨率參數(shù)（如 50X 物鏡默認水平分辨率 0.64μm）；若樣品為透明材質(zhì)，勾選 “增強對比度"，軟件自動調(diào)整光源亮度與成像算法，減少反光干擾。
掃描參數(shù)調(diào)整：設(shè)置掃描范圍（最小 10μm×10μm，最大 100mm×100mm），數(shù)據(jù)點密度可選 300-1000 點 /mm2（高精度需求選高密度，快速檢測選低密度）；勾選 “連續(xù)掃描"，可預(yù)設(shè) 3-5 個測量區(qū)域，設(shè)備自動依次完成掃描。
基礎(chǔ)參數(shù)計算：掃描完成后，點擊 “分析"→“表面參數(shù)"，軟件自動計算 Ra（算術(shù)平均粗糙度）、Rz（十點平均粗糙度）、PV（峰谷值）等參數(shù)，結(jié)果保留 3 位小數(shù)（如 Ra=0.025μm），可直接復(fù)制至表格。
專項分析模塊：
臺階高度測量：用鼠標框選臺階區(qū)域，軟件自動識別臺階上下表面，計算高度差（誤≤0.01μm）；
缺陷識別：開啟 “缺陷分析"，設(shè)置缺陷閾值（如劃痕深度≥0.1μm），軟件自動標紅缺陷區(qū)域，統(tǒng)計數(shù)量與尺寸；
曲率計算：光學(xué)鏡片檢測時，選擇 “曲率分析"，軟件擬合曲面，輸出曲率半徑與球面度數(shù)據(jù)（誤≤0.1%）。
報告模板選擇：點擊 “報告"→“新建報告"，提供兩種模板：“基礎(chǔ)模板"（含樣品信息、測量參數(shù)、關(guān)鍵數(shù)據(jù)）、“詳細模板"（增加 3D 形貌圖、偏差分析），支持插入公司 LOGO（圖片格式為 JPG/PNG）。
數(shù)據(jù)導(dǎo)出格式：測量數(shù)據(jù)可導(dǎo)出為 CSV（參數(shù)表格）、STL（3D 模型，用于后續(xù)建模）、TIFF（2D 灰度圖）；報告可導(dǎo)出為 PDF（避免格式錯亂）或 Word（便于后續(xù)編輯），導(dǎo)出時可選擇是否包含原始數(shù)據(jù)附件。
兼容性：支持導(dǎo)入其他輪廓儀的 CSV 數(shù)據(jù)，進行二次分析；可對接 CAD 軟件（如 AutoCAD），直接導(dǎo)入設(shè)計模型，對比測量數(shù)據(jù)與設(shè)計值的偏差。
數(shù)據(jù)安全：開啟 “自動備份"（默認每 10 分鐘備份一次），若電腦斷電，重啟后可通過 “數(shù)據(jù)恢復(fù)" 找回未保存文件；支持用戶權(quán)限管理（管理員 / 操作員），限制參數(shù)修改權(quán)限，避免誤操作。
軟件校準：更換物鏡后，需在 “校準"→“物鏡校準" 中，用標準樣板（如已知臺階高度的樣板）驗證，確保數(shù)據(jù)準確；
版本更新：從 ZYGO 下載最新軟件版本，更新前需備份測量數(shù)據(jù)與自定義模板，避免丟失；
異常處理：若軟件卡頓，關(guān)閉無關(guān)程序釋放內(nèi)存；若成像模糊，檢查物鏡清潔度或重啟軟件重新連接設(shè)備。
ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀操作軟件功能解析
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